Occasion NOVELLUS SYSTEM CONCEPT 2 INOVA #9032880 à vendre en France

NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVA est un système de dépôt en parallèle très avancé, innovant, doté d'une technologie de procédé avancée pour offrir des taux élevés et une excellente conformité sur une grande variété de types de plaquettes. L'unité offre une capacité de traitement, une qualité et une répétabilité supérieures, utilisant trois chambres de traitement finies parallèles, indépendantes et intégrées logées dans une seule plate-forme. CONCEPT 2 INOVA utilise les derniers développements dans les procédés de dépôt physique en phase vapeur (PVD), de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD). Chacune des trois chambres agit indépendamment des autres tout en contribuant en tandem aux performances globales du réacteur. Chaque chambre est équipée de sa propre source hyperfréquence, permettant de déposer des couches indépendantes et optimisées sur chaque plaquette. NOVELLUS Machine CONCEPT 2 INOVA offre des améliorations significatives dans les technologies de contrôle, permettant un contrôle de précision de l'environnement de dépôt. L'outil a été conçu avec les capacités d'automatisation les plus avancées, offrant aux utilisateurs une intégration et une automatisation complètes. Le fonctionnement automatisé de la machine augmente le débit et réduit les coûts, tout en fournissant les résultats fiables et reproductibles du processus qui sont attendus. CONCEPT 2 INOVA utilise plusieurs technologies de pointe pour augmenter à la fois l'efficacité et le débit. Ces technologies comprennent une configuration de préchambre double très efficace qui permet un débit de gaz optimisé. La technologie de l'obturateur magnétique offre un contrôle précis des nuages de gaz et permet un contrôle précis du faisceau de gaz pour les surfaces à haute résolution. NOVELLUS Asset CONCEPT 2 INOVA dispose également d'une chambre Arc Jet de haute précision qui permet un dépôt contrôlé avec précision des structures à haute résolution. CONCEPT 2 INOVA est une plate-forme de processus multifonctions qui est capable de processus simultanés tels que l'oxyde, le nitrure, les métaux et les processus CMP. Il offre également une variété d'options de dépôt telles que les modes de fonctionnement sous-ATM, ultra-basse pression et haute pression. Le modèle a la flexibilité nécessaire pour être configuré en fonction des besoins spécifiques du client ou de l'application. En plus d'offrir des capacités de processus et d'intégration supérieures, NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVA offre une vaste gamme d'outils de diagnostic pour donner aux opérateurs un aperçu complet du processus. La surveillance intégrée de toutes les opérations et de tous les paramètres permet aux opérateurs de détecter les fluctuations et les anomalies du processus plus tôt que jamais. En outre, le système intégré de contrôle des processus assure des résultats de processus reproductibles, ainsi que la précision et la stabilité des résultats d'usinage. CONCEPT 2 INOVA offre un ensemble complet de caractéristiques, ce qui en fait une solution idéale pour tout environnement moderne de fabrication de procédés avancés. Avec ses performances robustes et fiables, NOVELLUS Unit CONCEPT 2 INOVA offre une solution abordable, polyvalente et fiable pour répondre aux exigences de tout processus de dépôt moderne.