Occasion PLASMATHERM PK-1241 #9135300 à vendre en France

PLASMATHERM PK-1241 est un réacteur à plasma haute performance spécialement conçu pour les applications de dépôt. Le réacteur est équipé d'une source de plasma couplée capacitivement à haute température, ainsi que d'un régulateur de débit massique à grande vitesse pour un contrôle précis du procédé. Le réacteur est capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 130 ° C et peut exécuter des processus selon trois modes différents : uniforme, directionnel et unidirectionnel. La décharge haute fréquence et basse pression permet d'obtenir des films uniformes et définis même avec des matériaux de procédé difficiles. Le réacteur est capable de manipuler divers types de substrat dont le silicium, le nitrure et le polycristallin. Il permet un dépôt rapide du film, ce qui se traduit par des temps de processus courts et une meilleure efficacité de production. Le réacteur est équipé d'un refroidissement automatique à l'eau, ce qui permet un fonctionnement prolongé et efficace. Il est également équipé d'un HMI convivial (interface homme-machine) qui peut facilement programmer des recettes de processus individuelles. Le réacteur est équipé d'un système de détection de température qui surveille le substrat et optimise les paramètres du procédé. En outre, la spectroscopie optique d'émission (OES) est disponible en option, ce qui permet une surveillance et une optimisation précises des processus. Le système comprend également la détection de fin de film (EOF), qui permet l'arrêt automatique de la décharge du plasma lorsque les paramètres souhaitables du film sont atteints. La chambre du réacteur est construite en acier inoxydable avec une attention particulière à la compatibilité des matériaux et à la résistance à la corrosion. Il est alimenté par une alimentation triphasée pour assurer un fonctionnement sûr. Le réacteur est conforme aux normes CE/EMC et est certifié RoHS. En outre, le réacteur est disponible en deux modèles : le PK-1241LAR et le PK-1241NAR. Le PK-1241LAR est un réacteur à faible arc, de grande surface avec une taille de substrat allant jusqu'à 760 x 510 mm. Le PK-1241NAR est un réacteur à arc normal à zone étroite avec une taille de substrat plus petite pouvant atteindre 130 x 40 mm. Les deux modèles ont une conception robuste, sont faciles à installer et à utiliser, et sont capables de fournir des résultats de processus fiables et stables. PK-1241 est un excellent choix de réacteur pour toute application de dépôt. Sa conception sophistiquée, ses performances élevées et ses fonctionnalités conviviales en font l'outil parfait pour un dépôt de film précis sur une gamme de tailles de substrat.