Occasion ROTH & RAU MAiA #293752398 à vendre en France
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ID: 293752398
Style Vintage: 2014
PECVD System
BUSCH Pumps
HAMLET Valves
FESTO Pneumatics
VAT Vacuum valves
SMC Digital flow switches
BECKHOFF PLCs
PHOENIX Power supply units
SICK Sensors
MKS Pressure switches
EATON Contactors, switches and relays
BRONKHORST Mass flow meters
LENZE Electric motors
ELERO Linear actuators
HERAEUS Infrared heaters
MUEGGE Magnetron heads
MUEGGE Microwave power supplies
HAPRO Side channel blowers
(4) COBRA BC 1000 F Pumps
(3) COBRA BC 2000 F Pumps
Coatings and dusts consist of the following substances:
Amorphous silicon nitride, SiNx, coherent layers and dust
Amorphous silicon, dust
Amorphous silicon dioxide, SiOx, continuous layers and dust
Amorphous aluminum oxide, AlOx, continuous layers and dust
2014 vintage.
Le réacteur ROTH&RAU MAiA est un système de dépôt physique en phase vapeur (PVD) de pointe qui est conçu pour un large éventail d'applications dans les secteurs des semi-conducteurs, de l'optoélectronique et de la photovoltaïque. Ce réacteur dispose de capacités technologiques avancées et d'une conception très efficace qui permet un dépôt de film précis et une excellente qualité de film. Au cœur du réacteur MAiA se trouve sa chambre à vide, qui offre un environnement propre et contrôlé pour le dépôt de couches minces. Le réacteur est équipé de plusieurs stations de traitement de haute précision qui permettent le dépôt simultané de plusieurs couches, ce qui le rend adapté aux structures multicouches complexes requises dans les dispositifs semi-conducteurs modernes et la fabrication de cellules solaires. L'une des caractéristiques clés du réacteur ROTH&RAU MAiA est son système polyvalent de manutention de substrat, qui peut accueillir différentes tailles et types de substrat, y compris des plaquettes de silicium, des substrats en verre et des substrats flexibles. Cette polyvalence rend le réacteur adapté à un large éventail d'applications, des projets de recherche et développement à petite échelle aux processus de production à haut volume. Le réacteur MAiA utilise une gamme de techniques de PVD, y compris la pulvérisation, l'évaporation et le dépôt par faisceau d'ions, pour déposer des couches minces de divers matériaux tels que les métaux, les oxydes et les nitrures. Ces techniques permettent un contrôle précis de l'épaisseur, de la composition et de l'uniformité du film, ce qui permet d'obtenir des films de haute qualité avec d'excellentes propriétés électriques et optiques. En outre, le réacteur est équipé de systèmes avancés de contrôle des procédés qui permettent de surveiller et d'ajuster en temps réel des paramètres clés du procédé, tels que la vitesse de dépôt, la température du substrat et les débits de gaz. Ce niveau de contrôle assure la reproductibilité et la cohérence du dépôt du film, conduisant à des rendements de procédé élevés et à des taux de défauts faibles. De plus, le réacteur MAiA ROTH&RAU est doté d'une conception à haut débit qui permet le dépôt rapide de couches minces, ce qui le rend idéal pour les environnements de production à haut volume. L'architecture modulaire du réacteur permet une personnalisation et une évolutivité faciles, permettant aux utilisateurs d'élargir leurs capacités et de répondre aux besoins futurs des processus. Globalement, le réacteur MAiA représente une solution de pointe pour le dépôt de couches minces dans les industries semi-conductrice, optoélectronique et photovoltaïque. Avec ses capacités technologiques avancées, sa conception polyvalente et ses performances élevées, ce réacteur est bien adapté à un large éventail d'applications qui exigent précision, qualité et efficacité dans les procédés de dépôt en couches minces.
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