Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Probus SiC #293813749 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Probus SiC est un réacteur de pointe de pointe conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs utilisant des matériaux de carbure de silicium (SiC). Ce réacteur utilise une technologie de pointe et une conception innovante pour permettre des processus de haute performance et de haut débit pour la fabrication de dispositifs à base de SiC. Au cœur du réacteur TEL Probus SiC se trouve sa chambre verticale, spécialement conçue pour la croissance et le traitement des matériaux SiC. La conception verticale permet un transfert de chaleur efficace et une croissance uniforme des cristaux de SiC, garantissant des propriétés de matériaux de haute qualité et uniformes sur l'ensemble de la plaquette. Le réacteur dispose également d'un équipement de chauffage multi-zones qui permet un contrôle précis des gradients de température à l'intérieur de la chambre, critique pour atteindre les propriétés cristallines souhaitées et contrôler les densités de défauts. L'une des caractéristiques clés du réacteur TOKYO ELECTRON Probus SiC est son système avancé de distribution de gaz, qui permet un contrôle précis et fiable des gaz de procédé utilisés pendant la croissance des matériaux SiC. Le réacteur est équipé de régulateurs de débit massique haute performance et de régulateurs de pression, assurant des débits précis et des compositions gazeuses pour une qualité optimale du matériau et la stabilité du procédé. En outre, l'unité de distribution de gaz est conçue pour la commutation et la purge rapides du gaz, minimisant les temps d'arrêt du processus et améliorant l'efficacité globale de la machine. Le réacteur Probus SiC est intégré à un outil sophistiqué de surveillance et de contrôle des processus, qui fournit une rétroaction en temps réel sur les paramètres clés du processus tels que la température, les débits de gaz et la pression. Cet atout permet aux opérateurs de peaufiner les conditions de traitement à la volée, en optimisant la qualité des matériaux et les performances des appareils. En outre, le réacteur est équipé de capacités d'automatisation avancées, ce qui permet de contrôler les processus par recette et de surveiller à distance, de rationaliser les flux de production et de réduire l'intervention des opérateurs. En ce qui concerne la manutention et le chargement des plaquettes, le réacteur TEL/TOKYO ELECTRON Probus SiC dispose d'un modèle de chargement cassette-cassette à haut débit, capable de traiter plusieurs plaquettes en un seul lot. L'équipement est conçu pour une répétabilité élevée et un positionnement précis des plaquettes, assurant des propriétés de matériau uniformes et des caractéristiques du dispositif sur l'ensemble de la plaquette. En outre, le réacteur est compatible avec une large gamme de tailles de plaquettes, permettant une flexibilité de production et d'évolutivité pour les développements futurs du procédé. Globalement, le réacteur TEL Probus SiC représente une solution de pointe pour la production de dispositifs semi-conducteurs à base de SiC. Sa conception avancée, son contrôle précis des processus et ses capacités à haut débit en font un choix idéal pour les fabricants qui cherchent à obtenir des matériaux et des dispositifs SiC de haute qualité pour des applications de nouvelle génération dans l'électronique de puissance, la communication RF et d'autres industries à haute performance.