Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ EX-II Ti/TiN #293638914 à vendre en France

TEL Triase + EX-II Ti/TiN est un réacteur conçu pour un usage industriel. Il est utilisé pour réaliser des procédés chimiques tels que l'oxydation, la réduction, la gravure, le dépôt et les traitements de surface. Il dispose d'une chambre cathodique à plasma 24 ″ avec une configuration en miroir coudé qui permet une uniformité des vitesses de dépôt et de l'épaisseur sur une grande surface. La chambre a des parois étanches en céramique avec un couvercle en céramique en option pour le contrôle de la chaleur et un faible taux d'évaporation. Ses vannes de régulation de gaz réglables à 6 voies peuvent fournir un total de 25 gaz de procédé, avec un contrôle de débit pour jusqu'à 32 gaz. Les doubles générateurs RF indépendants avec jusqu'à 500W de sortie assurent des processus lisses et reproductibles pour l'uniformité des dépôts et du traitement de surface. Le Triase + EX-II dispose d'un contrôle logiciel avancé avec des recettes de processus préchargées, des capacités diagnostiques avancées et une surveillance visuelle. Ses applications de surveillance et de support de dispositifs peuvent assurer la stabilité du processus et la gestion de la qualité du substrat. L'équipement d'acquisition de données fournit des informations de processus en temps réel et des capacités d'enregistrement des données. De plus, le système dispose d'un accès à distance en option et d'une interface utilisateur graphique avec des capacités de création de recettes. Le Triase + EX-II est conçu à l'opération dans la Classe 1 cleanroom les conditions et expédie avec une unité de direction du gaz certifiée, la sécurité s'emboîte et les traits de sécurité avancés. Il est conçu pour maintenir les températures élevées nécessaires aux procédés avancés et peut être utilisé dans des environnements inertes jusqu'à 200 ° C et dans des environnements haute pression jusqu'à 5 Torr. En outre, sa machine de nettoyage automatique à chambre barrière peut effectuer des dépôts d'épaisseur multicouches sans risque de contamination. En résumé, TOKYO ELECTRON Triase + EX-II Ti/TiN est un réacteur industriel conçu pour réaliser des procédés chimiques avancés. Il dispose de plusieurs systèmes de contrôle du gaz, de générateurs à double RF, d'une commande logicielle avancée et d'un accès à distance en option. Il est conçu pour être utilisé dans la Classe 1 cleanrooms et est équipé avec la sécurité s'emboîte et les traits de sécurité avancés pour garantir la sécurité et la qualité.