Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #293628645 à vendre en France
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TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Triase + est un réacteur de four vertical à semi-conducteur de pointe produit par TEL/TOKYO ELECTRON, un fabricant leader d'équipements de traitement. TEL Triase + est un outil polyvalent idéal pour la production à faible et à haut volume qui comprend un certain nombre d'améliorations par rapport aux modèles précédents de réacteurs à four vertical. TOKYO ELECTRON Triase + intègre plusieurs technologies uniques, telles qu'un design amélioré de chambre en graphite et un contrôle amélioré de la température des plaquettes grâce à un contrôle de température à double zone, afin de maximiser l'uniformité de température. La conception améliorée de la chambre en graphite augmente le débit de gaz et l'uniformité de température sur la surface de la plaquette, ce qui augmente le rendement en moins de cycles. Le contrôle de la température en double zone permet un contrôle indépendant des températures de la chambre supérieure et de la chambre inférieure, ce qui améliore l'uniformité et la densité des surenchères. Triase + dispose également d'un réglage automatique de la plaque de bras TEL, permettant un réglage automatique de la hauteur de la plaquette, réduisant les coûts de main-d'œuvre et augmentant le débit. L'équipement de contrôle des processus adaptatifs (APC) de TEL/TOKYO ELECTRON Triase + assure un contrôle des processus précis et cohérent. Avec APC, les utilisateurs peuvent définir des profils de température bi-chambres spécifiques adaptés à leurs besoins en recettes. Le système est capable d'ajuster automatiquement la recette pour compenser les fluctuations du processus résultant de facteurs tels que le décalage thermique ou les différentes tailles de plaquettes. TEL Triase + est conçu pour une utilisation facile et offre un haut degré de flexibilité en termes d'applications de processus. Grâce à son éditeur de recettes intégré, les utilisateurs peuvent créer et éditer des recettes personnalisées pour des processus spécifiques, ce qui entraîne une réduction des temps de cycle. TOKYO ELECTRON Triase + présente également des caractéristiques de sécurité accrues, telles qu'une unité de refroidissement active et une machine d'échappement intégrée de la chambre de four, offrant un environnement de travail plus sûr. Dans l'ensemble, Triase + est un outil précieux pour les fabricants de semi-conducteurs. Sa technologie de pointe et sa fonctionnalité innovante en font un choix idéal pour les processus de production à faible et à haut volume. Son contrôle de processus flexible et l'éditeur de recettes, ainsi que des caractéristiques de sécurité accrues en font un atout précieux pour toute installation.
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