Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #9357066 à vendre en France

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ID: 9357066
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2014
Metal CVD system, 12" (3) Load ports, 12" Loader module (3) Load lock modules with cooler Power Distribution Unit (PDU) PF S2-0200 Safety (2) Ti Process modules PCOT Ti Chamber Gas box RF Generation unit Trap interface HP-Ti Kit (2) TiN Process modules PCOT TiN Chamber Gas box Trap interface SFD Kit PF Accessory: Load port UI Fixing at LM right side EFEM and fan check monitor TM, LLM Leak check port manual valve transfer navigation system PF Outer cable Edge grip blade LM Fluorescent light TM RGA Port without valve (2) Ti PM Accessories: Ti Leak check port Ti PM Outer cable Ti Gas box: ClF3, H2, NH3 (2) TiN PM Accessories: TiN Leak check port TiN High coverage process kit TiN PM Outer cable Utility accessory: Utility interconnection gas female FDC Signal tower CVCF Rear step Cable tray 2014 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Triase + est un réacteur de pointe conçu pour la production de cellules solaires à couches minces en silicium amorphe et micro-cristallin. Le réacteur fournit un environnement précis et contrôlé pour obtenir les meilleurs résultats de l'industrie. TEL Triase + dispose d'un procédé thermique en trois étapes qui permet un contrôle précis de la température et un chauffage rapide et uniforme qui donne des procédés très uniformes et reproductibles. Le réacteur dispose également d'un équipement spécial d'optique de mise en forme des faisceaux pour assurer une irradiation uniforme de la zone réactionnelle, et d'un système de chauffage infrarouge à plusieurs longueurs d'onde qui assure l'homogénéité de la température du substrat sur l'ensemble des substrats. TOKYO ELECTRON Triase + est équipé d'une unité de gaz d'alimentation multiple qui permet l'introduction simultanée de gaz multiples, permettant un contrôle plus précis de l'atmosphère réactionnelle et créant des processus plus uniformes. Il dispose également d'une machine de sécurité active, conçue pour arrêter le réacteur en cas de situation anormale de chauffage ou de refroidissement. Le réacteur offre également des capacités avancées d'automatisation du contrôle des procédés, permettant de personnaliser les recettes en fonction des besoins de l'utilisateur. L'outil dispose également d'une interface intuitive et conviviale pour faciliter le fonctionnement et la surveillance des paramètres du processus. La chambre de réaction de Triase + est conçue pour assurer une homogénéité optimale du film mince produit. Il présente des débits équilibrés, des plages de basse pression et des distributions de température optimisées dans la chambre de réaction. TEL/TOKYO ELECTRON Triase + offre une flexibilité et une fiabilité accrues grâce à ses caractéristiques de conception uniques. TEL Triase + est un réacteur efficace et performant, avec des taux de production élevés, des conditions contrôlables et des résultats de processus uniformes. Dans l'ensemble, le réacteur TOKYO ELECTRON Triase + offre un atout incroyablement précis et convivial pour produire des matériaux de cellules solaires à couches minces de haute qualité. Le réacteur est construit pour une efficacité maximale dans un très petit emballage, en maintenant un haut niveau d'uniformité dans le processus de production et un fonctionnement fiable dans les paramètres de processus choisis.
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