Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #9357066 à vendre en France
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Vendu
ID: 9357066
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2014
Metal CVD system, 12"
(3) Load ports, 12"
Loader module
(3) Load lock modules with cooler
Power Distribution Unit (PDU)
PF S2-0200 Safety
(2) Ti Process modules
PCOT Ti Chamber
Gas box
RF Generation unit
Trap interface
HP-Ti Kit
(2) TiN Process modules
PCOT TiN Chamber
Gas box
Trap interface
SFD Kit
PF Accessory:
Load port
UI Fixing at LM right side
EFEM and fan check monitor
TM, LLM Leak check port manual valve transfer navigation system
PF Outer cable
Edge grip blade
LM Fluorescent light
TM RGA Port without valve
(2) Ti PM Accessories:
Ti Leak check port
Ti PM Outer cable
Ti Gas box: ClF3, H2, NH3
(2) TiN PM Accessories:
TiN Leak check port
TiN High coverage process kit
TiN PM Outer cable
Utility accessory:
Utility interconnection gas female
FDC
Signal tower
CVCF
Rear step
Cable tray
2014 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Triase + est un réacteur de pointe conçu pour la production de cellules solaires à couches minces en silicium amorphe et micro-cristallin. Le réacteur fournit un environnement précis et contrôlé pour obtenir les meilleurs résultats de l'industrie. TEL Triase + dispose d'un procédé thermique en trois étapes qui permet un contrôle précis de la température et un chauffage rapide et uniforme qui donne des procédés très uniformes et reproductibles. Le réacteur dispose également d'un équipement spécial d'optique de mise en forme des faisceaux pour assurer une irradiation uniforme de la zone réactionnelle, et d'un système de chauffage infrarouge à plusieurs longueurs d'onde qui assure l'homogénéité de la température du substrat sur l'ensemble des substrats. TOKYO ELECTRON Triase + est équipé d'une unité de gaz d'alimentation multiple qui permet l'introduction simultanée de gaz multiples, permettant un contrôle plus précis de l'atmosphère réactionnelle et créant des processus plus uniformes. Il dispose également d'une machine de sécurité active, conçue pour arrêter le réacteur en cas de situation anormale de chauffage ou de refroidissement. Le réacteur offre également des capacités avancées d'automatisation du contrôle des procédés, permettant de personnaliser les recettes en fonction des besoins de l'utilisateur. L'outil dispose également d'une interface intuitive et conviviale pour faciliter le fonctionnement et la surveillance des paramètres du processus. La chambre de réaction de Triase + est conçue pour assurer une homogénéité optimale du film mince produit. Il présente des débits équilibrés, des plages de basse pression et des distributions de température optimisées dans la chambre de réaction. TEL/TOKYO ELECTRON Triase + offre une flexibilité et une fiabilité accrues grâce à ses caractéristiques de conception uniques. TEL Triase + est un réacteur efficace et performant, avec des taux de production élevés, des conditions contrôlables et des résultats de processus uniformes. Dans l'ensemble, le réacteur TOKYO ELECTRON Triase + offre un atout incroyablement précis et convivial pour produire des matériaux de cellules solaires à couches minces de haute qualité. Le réacteur est construit pour une efficacité maximale dans un très petit emballage, en maintenant un haut niveau d'uniformité dans le processus de production et un fonctionnement fiable dans les paramètres de processus choisis.
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