Occasion TOSHIBA / NUFLARE EGV-28GX #9069032 à vendre en France

TOSHIBA / NUFLARE EGV-28GX
ID: 9069032
Epitaxial reactor.
TOSHIBA/NUFLARE EGV-28GX est un réacteur à faisceau d'électrons ultra-haute énergie conçu pour une utilisation avec une variété d'applications électroniques. Avec sa surface active de 28 mm2 (28 cm2) et un faisceau de sortie pouvant atteindre 40 kV, cet équipement est idéal pour une utilisation avec une large gamme de microélectroniques tels que les photorésistances, les panneaux d'affichage et le traitement des plaquettes. Son faisceau d'électrons à haute énergie crée une plate-forme pour la gravure, le nettoyage, le dépôt et le frittage par des procédés assistés par plasma. TOSHIBA EGV-28GX utilise un système de balayage optique laser à plusieurs niveaux (OMS) qui a une excellente stabilité du faisceau par rapport aux systèmes de balayage à un et à plusieurs faisceaux. L'unité OMS à plusieurs niveaux comprend deux systèmes de commande indépendants, l'un pour le contrôle des émetteurs laser, l'autre pour le contrôle du faisceau d'électrons. En outre, NUFLARE EGV-28GX comprend plusieurs modes de focalisation laser, offrant la plus haute résolution et la plus grande précision pour la gravure ou la création de petites caractéristiques dans la gamme de millimètres carrés. EGV-28GX utilise un pistolet à film de tungstène pour créer une distribution d'énergie uniforme et des profils de dépôt d'énergie plus précis, optimisant la production de procédé. Son canon à électrons intégrés à blocage ionique contrôlé par la capacité fournit un faisceau d'électrons constants et peu aberrants pour améliorer l'uniformité des processus. De plus, un collecteur de gaz dorsal permet des processus de gravure complète, éliminant le risque de contamination ionique. La machine de contrôle informatique de pointe offre une grande flexibilité en termes de sélection des paramètres de processus, ce qui permet aux chercheurs de choisir entre le fonctionnement à un seul coup ou pulsé et d'autres paramètres de processus disponibles. La large gamme de modificateurs de paramètres disponibles sur TOSHIBA/NUFLARE EGV-28GX, associée à une interface graphique facile à utiliser, en font le choix idéal pour le traitement des plaquettes de précision. TOSHIBA EGV-28GX est un outil exceptionnellement fiable qui offre un traitement uniforme. Sa petite impression et sa polyvalence en font l'atout idéal pour tout laboratoire ou toute installation de recherche. Avec sa précision et ses capacités avancées, NUFLARE EGV-28GX devient rapidement un choix de premier plan pour la lithographie et le traitement de faisceaux d'électrons.
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