Occasion ULVAC CC-400 #9395962 à vendre en France

ULVAC CC-400 est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur conçu pour créer rapidement et avec précision des couches minces de diverses compositions de matériaux pour une utilisation en microélectronique, optoélectronique, et d'autres applications de précision. Le réacteur est constitué d'un tube de quartz formant la chambre de procédé, permettant à l'utilisateur de contrôler l'atmosphère dans les conditions de procédé souhaitées. La chambre de process est entourée d'une plaque de base et d'un bocal pour contenir l'atmosphère du process. La plaque de base et le bocal sont chauffés pour maintenir une température constante à l'intérieur du réacteur. CC-400 utilise des gaz de haute pureté, tels que l'azote, les hydrocarbures, et d'autres comme source de gaz de procédé pour créer la couche mince désirée, typiquement par un processus de décomposition thermique. Les gaz peuvent être introduits individuellement ou simultanément dans le réacteur par des contrôles de débit massique. Des régulateurs de débit massique et des systèmes de mélange de gaz peuvent également être intégrés au besoin. La chambre ULVAC CC-400 est maintenue sous vide par une combinaison de systèmes de pompage mécanique et turbo-moléculaire, offrant une large gamme de pressions de processus réalisables selon la composition du gaz et la taille du réacteur. Le système utilise également un système de chauffage à induction RF à haute densité de puissance pour une croissance efficace du film, ainsi qu'un chauffage ou une lampe à résistance thermique en option pour des capacités de chauffage supplémentaires. CC-400 offre une flexibilité dans le contrôle de la température grâce au ramassage dynamique de la température et au contrôle précis de la température de 0 ° C à 1 000 ° C Pour un contrôle précis, un système de contrôle PID peut être intégré au réacteur pour contrôler précisément la température de réaction. La chambre dispose d'un moniteur de température intégré et d'une alarme correspondante pour permettre la surveillance de la température et le contrôle de sécurité. Dans l'ensemble, ULVAC CC-400 est un réacteur CVD fiable et flexible adapté à une variété d'applications de production de films. Il offre un excellent contrôle du processus, y compris le mélange de gaz, le contrôle de la température et le contrôle du niveau de vide, permettant une croissance précise du film dans diverses conditions opératoires.