Occasion ULVAC CME-200J #293810220 à vendre en France
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ID: 293810220
Style Vintage: 2008
PECVD System
Chamber
Controller
(4) Gas boxes
(7) Pumps
Gas scrubber
Accessories
Manuals
Power supply
PC
2008 vintage.
ULVAC CME-200J est un réacteur à plasma industriel à double fréquence conçu pour les procédés de dépôt. Il est équipé de deux fréquences : 13,56 MHz (type magnétron continu) et 2,45 GHz (type à fréquence unique). Le réacteur peut traiter jusqu'à 9 pouces de substrats de plaquettes et peut facilement s'adapter à divers besoins allant du développement de matériaux à la production de plaquettes. Il est équipé d'un mélangeur de gaz de procédé qui permet un contrôle précis du rapport de mélange des gaz de procédé, permettant un contrôle précis des dépôts. Il dispose également d'un système de contrôle automatique de la puissance et d'un régulateur de débit de gaz. Le réacteur comporte une chambre cylindrique d'un volume de 11.2L et d'un diamètre d'électrode de 200mm, ce qui le rend apte à une large gamme d'applications de gravure, de dépôt et de cendrage. En outre, il est équipé d'un réseau d'adaptation à distance, qui aide à maintenir un environnement plasma stable pendant le fonctionnement tout en améliorant la précision de l'adaptation de la charge. De plus, le réacteur est émaillé pour assurer une surface imperméable et résistante à la corrosion pour éviter la réaction des gaz de procédé avec les surfaces de la chambre. Le réacteur utilise une pompe turbomoléculaire pour créer un vide dans la chambre, permettant un contrôle direct de la pression de la chambre allant de 1x10-3 à 1x10-7 Pa. Il est également équipé d'un mécanisme d'égalisation de pression qui peut contrôler avec précision la pression de base dans la chambre. De plus, le système utilise une technique de contrôle de réaction simultanée qui est intégrée dans le logiciel de contrôle de processus. Cela garantit des performances de processus stables et cohérentes, même pendant le traitement par lots. Pour des raisons de sécurité, CME-200J est équipé de divers dispositifs de protection, tels que le contrôle de pression et le verrouillage, le mode silence et les pompes à vide surveillées par l'interrupteur de pression. Il est également équipé de mesures de sécurité telles que des dispositifs de sécurité pour l'accès à la chambre et le moniteur de chaleur. En outre, le système est conçu pour fonctionner dans une plage de température allant jusqu'à + 50 ° C dans la chambre et équipé de la technologie de réduction de la chaleur d'échappement pour assurer un fonctionnement sûr. En conclusion, ULVAC CME-200J est un réacteur à plasma industriel puissant et fiable conçu pour les processus de dépôt et le traitement de plusieurs substrats de plaquettes. Il est équipé de divers contrôles de processus automatisés pour un contrôle précis du processus de dépôt et est conçu avec plusieurs caractéristiques de sécurité pour assurer un fonctionnement sûr en tout temps.
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