Occasion ULVAC CME-400ET #9266625 à vendre en France

ULVAC CME-400ET est un système de dépôt physique en phase vapeur (PVD) par faisceau d'électrons (EB) conçu pour la production avancée de puces semi-conductrices. CME-400ET se compose d'une chambre à vide, d'un canon EB et d'une alimentation électrique horizontale. La chambre à vide est équipée d'une porte ouvrante et est en acier inoxydable. Le canon EB est utilisé pour générer des faisceaux d'électrons qui sont implantés sur le substrat à l'intérieur de la chambre à vide. L'alimentation horizontale crée le champ électrique nécessaire pour accélérer les faisceaux d'électrons vers le substrat. Le canon EB d'ULVAC CME-400ET est équipé d'isolants de film DLC connectés et d'électrodes de grille pour prévenir les pertes d'énergie. La variation des réglages de tension et de courant influence directement la densité de courant et la distribution de densité du faisceau. Pour assurer une homogénéité répétable dans le dépôt des couches minces, des électrodes de déflexion réglables sont installées pour permettre des angles et des directions de déflexion précis. Des caractéristiques supplémentaires telles que l'arrêt variable et l'obturateur permettent de contrôler pleinement les caractéristiques du faisceau EB. La grandeur de chambre primaire de CME-400ET est 400-450 millimètres dans le diamètre et 200-250 millimètres dans la hauteur. Pour maintenir un environnement de vide constant, le système est complété par une pompe à rugosité à deux étages et un système de purge de gaz actif qui permet une pression de fond ultime de 10-7 Torr. On peut également ajouter des sources de pulvérisation magnétron pour le dépôt de métaux ou de nitrures. La technologie haut de gamme ULVAC CME-400ET offre un développement précis et fiable des couches minces, ce qui en fait un outil précieux pour l'industrie des semi-conducteurs. Sa conception compacte, sa forte capacité de vide et sa capacité à contrôler la divergence rendent ce réacteur idéal pour la fabrication de circuits intégrés performants. Avec ses grandes performances, CME-400ET est un choix parfait pour la production avancée de puces semi-conductrices.