Occasion ULVAC EBX-8C #9053841 à vendre en France

ULVAC EBX-8C est un réacteur à faisceau d'électrons basse pression (EB) conçu pour des applications industrielles spécifiques. C'est un système de revêtement compact, en ligne, de puissance moyenne, basé sur EB qui fournit un dépôt de couches minces précis et de haute précision. EBX-8C est un réacteur haute performance avec des caractéristiques supérieures telles qu'une conception très rationalisée, une faible consommation d'énergie, et une faible empreinte. ULVAC EBX-8C peut fonctionner à la fois à basse et haute pression de vide avec une chambre de procédé qui peut atteindre une pression de vide de travail de 10⁻¯6 à 5.0E-4 Pa. Ceci assure un contrôle précis des paramètres de dépôt tels que l'uniformité et l'épaisseur de la couche. Le réacteur présente également une pression de base extrêmement basse, qui est inférieure à 10⁻¯7 Pa. Ceci permet une faible interférence de pression résiduelle dans la chambre de procédé et une trajectoire de particules presque égale. EBX-8C utilise une source EB, reliée à un ensemble de canons, qui est introduite dans une chambre spéciale remplie du gaz de travail désiré. La source EB est composée d'un filament, de grilles de commande, de distances d'accélération et d'électrodes de collecteur. La source EB peut être ajustée pour fournir les niveaux de tension et d'énergie nécessaires au dépôt optimal du film. La distance d'accélération est réglable, ce qui permet un contrôle fin de l'énergie du faisceau. A l'intérieur de la chambre de procédé, le faisceau EB est dirigé vers la pièce à l'aide de composants optiques tels qu'une lentille de focalisation et une tourelle. La pièce est placée sur un étage de substrat rotatif et est maintenue en place avec un système de serrage sous vide. La chambre de procédé des chicanes assure une grande homogénéité du film déposé même dans des géométries difficiles avec des rapports d'aspect élevés. ULVAC EBX-8C dispose d'un fonctionnement entièrement automatisé et d'une électronique de contrôle avancée. Un contrôleur logique programmable interactif (PLC) offre quatre modes de fonctionnement différents pour l'accélération et le temps d'accélération total. Il offre également plusieurs contrôles de sécurité, y compris la température, la contre-pression, la pression de la chambre, et d'autres. EBX-8C a une puissance de 8 kW et peut fonctionner dans une plage de température de 0 à 380C. ULVAC EBX-8C est équipé d'une large gamme d'accessoires et de pièces de rechange tels que des lentilles supplémentaires, des porte-pièces, des boucliers de protection, des systèmes de refroidissement, des étages cibles, et d'autres. Cela garantit un fonctionnement et un entretien fiables et efficaces des EBX-8C.