Occasion ULVAC ED-60000-D14 #9053842 à vendre en France

ULVAC ED-60000-D14 est un réacteur de gravure avancé conçu pour une gamme d'applications de recherche. Il dispose d'une chambre de procédé d'un diamètre intérieur de 6 pouces, capable de traiter une large gamme de substrats jusqu'à une température de 1400 ° C Le réacteur dispose en outre d'un équipement de contrôle de pression avancé et d'une douche à gaz à grande vitesse pour assurer un contrôle précis et cohérent du processus de gravure. ED-60000-D14 est conçu pour fournir des performances exceptionnelles dans les processus de gravure pour une gamme de substrats, y compris Si, SiO2, GaN, GaAs, et d'autres matériaux. Il est capable de traiter des matériaux jusqu'à une température de 1350 ° C, permettant une gravure répétable avec la plus grande précision. Le réacteur dispose également d'une douche à gaz ULVAC unique, qui assure rapidement la composition de gaz souhaitée dans la chambre de procédé. Cela permet un meilleur contrôle du processus de gravure et une meilleure uniformité de lot à lot. ULVAC ED-60000-D14 dispose d'une chambre de traitement de 1 400 litres et fonctionne à des pressions réduites maximales de 15 torr. Cela permet de raccourcir les temps de cycle tout en maintenant la précision de gravure. De plus, la douche à gaz haute vitesse assure un environnement gazeux uniforme et stable pour un contrôle précis de la gravure. Le système de contrôle de pression commandé par ordinateur permet des vitesses de gravure uniformes et stables pour une production de haute qualité de motifs complexes et de structures complexes. Pour réduire la température de la paroi de la chambre, ED-60000-D14 est conçu avec une enveloppe d'isolation améliorée. Cette fonctionnalité permet de minimiser la perte thermique des processus de gravure. Il offre également une meilleure homogénéité et contrôlabilité de la température de la chambre de procédé ainsi qu'une fenêtre de processus améliorée. Le piège à froid HeTCA intégré améliore encore les performances des unités de gaz et fournit un environnement gazeux propre de 20 mTorr ou moins. ULVAC ED-60000-D14 offre également une pompe à vide avancée conçue pour un fonctionnement à long terme et un faible coût de possession. L'outil utilise une pompe à membrane, une pompe à traînée moléculaire et une pompe turbo d'appoint pour atteindre une pression de base inférieure ou égale à 20 mTorr, permettant ainsi des conditions précises de contrôle et de gravure des gaz. En termes de sécurité, ED-60000-D14 dispose d'un atout de sécurité avancé. Il dispose de plusieurs systèmes de détection des pannes, qui sont conçus pour détecter les problèmes de la chambre de processus, y compris les anomalies des gaz d'échappement, l'arc et les anomalies de la procédure de chauffage. Le modèle assure également la surveillance automatique de l'environnement et le blocage des pannes. En outre, ULVAC ED-60000-D14 dispose d'un équipement de refroidissement à l'azote liquide qui permet d'assurer un fonctionnement sûr en évitant toute température anormale de la chambre. En conclusion, ED-60000-D14 est un réacteur de gravure avancé conçu pour des applications de recherche. Il est doté d'une chambre de traitement de 6 pouces et est capable de traiter une large gamme de substrats jusqu'à une température de 1400 ° C ULVAC ED-60000-D14 comportait également une douche à gaz haute vitesse et un système de contrôle de pression pour un contrôle précis des processus de gravure. De plus, le réacteur intègre un certain nombre de caractéristiques de sécurité, telles qu'une unité de refroidissement à azote liquide et une machine de surveillance pour détecter les températures inhabituelles de la chambre, l'arc et les fuites de gaz. Enfin, ED-60000-D14 comprend également une pompe à diaphragme, une pompe à traînée moléculaire et une pompe turbo d'appoint pour un entretien efficace du vide.