Occasion ULVAC EX-550-C10 #293830630 à vendre en France

ULVAC EX-550-C10
Fabricant
ULVAC
Modèle
EX-550-C10
ID: 293830630
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1994
Vapor deposition system, 6" 1994 vintage.
ULVAC EX-550-C10 est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) conçu pour des dépôts de couches minces à haute performance dans diverses applications, y compris la fabrication de semi-conducteurs, les revêtements optiques et la recherche avancée sur les matériaux. Cet outil avancé est équipé de fonctionnalités et de capacités avancées qui permettent un contrôle précis de l'épaisseur, de la composition et des propriétés du film, ce qui en fait un choix idéal pour les chercheurs et les fabricants travaillant sur des technologies de pointe. Au cœur d'ULVAC EX 550-C10 se trouve son équipement de verrouillage de charge de grande capacité, qui permet un chargement et un déchargement rapides et efficaces des plaquettes, minimisant les temps d'arrêt et augmentant le débit global. Le système est capable de manipuler plusieurs substrats simultanément, ce qui permet une production à haut volume et une efficacité accrue. La conception de serrure aide également à maintenir un environnement de processus propre, à réduire la contamination et à améliorer la qualité du film. Une des caractéristiques clés de EX-550-C10 est son unité avancée de génération de plasma, qui utilise une source de plasma haute densité pour améliorer la qualité des films et les taux de dépôt. La machine est équipée d'un générateur RF de grande puissance et d'une conception d'électrode unique qui assure une répartition plasma uniforme sur la surface du substrat. Il en résulte des films de haute qualité avec une excellente uniformité et reproductibilité, ce qui rend EX 550-C10 idéal pour des applications exigeantes qui nécessitent un contrôle précis des propriétés du film. La chambre du réacteur d'ULVAC EX-550-C10 est construite à partir de matériaux de haute qualité résistant à la corrosion et aux températures élevées, garantissant une fiabilité et une disponibilité à long terme. La chambre est équipée de systèmes avancés de distribution de gaz et de pompage qui permettent un contrôle précis des conditions du procédé, y compris les débits de gaz, les pressions et les compositions. Ce niveau de contrôle permet aux utilisateurs d'adapter les propriétés du film aux exigences spécifiques, telles que l'épaisseur, l'indice de réfraction et les propriétés optiques. ULVAC EX 550-C10 dispose d'une interface conviviale qui permet aux opérateurs de programmer et de surveiller facilement le processus de dépôt en temps réel. L'outil est équipé de capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus, y compris la spectroscopie optique d'émission (OES) et la spectrométrie de masse, qui fournissent des informations précieuses sur la chimie du plasma et les mécanismes de croissance des films. Ces informations peuvent être utilisées pour optimiser les paramètres du processus et améliorer la qualité et la performance du film. En conclusion, EX-550-C10 est un réacteur PECVD de pointe qui offre un contrôle et une flexibilité inégalés pour le dépôt de couches minces dans un large éventail d'applications. Avec son outil de verrouillage de charge de grande capacité, sa technologie avancée de génération de plasma et son interface conviviale, EX 550-C10 est un outil polyvalent qui peut répondre aux exigences exigeantes des environnements modernes de recherche et de fabrication. Que ce soit pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, les revêtements optiques ou la recherche de matériaux, ULVAC EX-550-C10 est un choix fiable et efficace pour réaliser des films minces de haute qualité avec un contrôle précis de leurs propriétés.
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