Occasion ULVAC EX-550-C10 #9078375 à vendre en France

ULVAC EX-550-C10 est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) à haute performance, conçu pour le dépôt d'une gamme de matériaux pour diverses applications. Le réacteur dispose d'une chambre en acier inoxydable simple et durable et d'une automatisation informatique complète pour faciliter l'utilisation, permettant des résultats de haute qualité et reproductibles. Ce réacteur est équipé d'une enveloppe de panache cyclotron électronique (ECR) de pointe pour une homogénéité maximale, un meilleur taux de traitement et une meilleure qualité de couche. La configuration unique ECR permet une source de plasma très homogène et un environnement énergétique très contrôlé, conduisant à une nucléation stable des matériaux et à une meilleure rétention des propriétés des matériaux. Le système peut traiter des plaquettes jusqu'à 5,7 "de diamètre à une température maximale du substrat de 450 ° C ULVAC EX 550-C10 dispose d'un ensemble complet de capacités de diagnostic plasma automatisé, y compris l'imagerie plasma en temps réel et un système embarqué de spectrométrie optique d'émission (OES). Cela permet une surveillance complète des conditions plasmatiques afin de maximiser les rendements des procédés et d'améliorer la qualité des couches. En outre, les niveaux variables GASBOX d'introduction de gaz latéraux peuvent encore optimiser les taux de dépôt. D'autres caractéristiques de ce réacteur comprennent un générateur à l'état solide avec un contrôle avancé des impulsions, un nettoyage automatisé de la chambre et un moniteur d'épaisseur de film. Ceci permet un contrôle précis du chauffage et du refroidissement du substrat, du mouvement du substrat et fournit des procédés reproductibles. Globalement, EX-550-C10 fournit une solution rentable pour le dépôt de films de haute qualité pour de nombreuses applications.