Occasion ULVAC EX-650-C16 #9053847 à vendre en France

ULVAC EX-650-C16 est un équipement RF (High-End Series Radio Frequency) réactif ion etcher (RIE) destiné à la production de composants électroniques. Ce système utilise plusieurs avancées technologiques pour fournir une gravure précise et précise des matériaux à débit inégalé. EX-650-C16 unité est composée d'une chambre principale du réacteur, d'une préchambre de niveau supérieur, d'une machine intégrée de chargement d'échantillons, d'un outil informatique d'injection de gaz et d'une chambre à plasma de post-traitement. La chambre de réacteur principale est équipée avec deux pôles de 16 pouces et un pôle de 8 pouces avec les alimentations électriques de RF de 2 kW capables de jusqu'à 2,3 pression de vide de Torr. Cela permet une vitesse de gravure extrêmement élevée allant jusqu'à 0,1 um/min. Il utilise également un atout d'optimisation Turbulence basé sur une conception à quatre quadrants, permettant une meilleure uniformité de la formation des motifs de gravure. La préchambre de niveau supérieur utilise un modèle d'optimisation du plasma à deux niveaux avec trois broches d'électrode pour permettre une gravure précise et à haut débit des matériaux et substrats délicats, et elle bénéficie d'une vitesse de gravure encore plus élevée que celle de la chambre principale du réacteur. L'équipement intégré de chargement de l'échantillon facilite le changement de l'échantillon grâce aux capacités automatisées de distance, de sécurisation et de contrôle d'orientation. Il offre également un environnement sûr pour manipuler les matériaux sensibles. Le système avancé d'injection de gaz ULVAC EX-650-C16 permet un contrôle volumétrique précis et l'introduction de produits chimiques dans la chambre de pression intérieure du réacteur. Cette unité permet d'optimiser avec précision la gravure de matériaux plus exotiques ou de substrats stratifiés. Enfin, la chambre à plasma post-traitement utilise deux lampes UV de 25 pouces pouvant atteindre 6 Torr de pression et permet un post-traitement de haute précision. Toutes ces caractéristiques de EX-650-C16 s'associent pour créer une machine RIE qui fournit l'un des profils de gravure les plus précis et les plus précis de tout réacteur actuellement disponible dans l'industrie.