Occasion ULVAC VEP-1000 #9313810 à vendre en France

ULVAC VEP-1000 est un réacteur à résonance cyclotron électronique vertical (ECR) conçu pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à haut débit. Le réacteur ECR est utilisé pour créer un plasma, qui devient alors la source de radicaux nécessaires aux processus CVD. VEP-1000 convient le mieux pour des applications telles que la croissance du graphène, comme c'est le cas pour de nombreux réacteurs ECR. ULVAC VEP-1000 est équipé d'un équipement à aimant permanent développé avec des aimants permanents NbFeB et des boîtiers à bobines en aluminium. Ce système limite magnétiquement le plasma à l'intérieur du réacteur, ce qui améliore la densité du plasma et l'uniformité. VEP-1000 comprend également des générateurs hyperfréquences et des systèmes d'alimentation électrique hautement représentés, permettant des opérations silencieuses, stables et sûres. L'ULVAC VEP-1000 comprend un injecteur précurseur à six poches, permettant d'introduire jusqu'à six précurseurs différents dans la chambre à plasma. L'angle d'injection des précurseurs peut être ajusté pour contrôler la densité et l'homogénéité du plasma. VEP-1000 a une vitesse de dépôt maximale de 10,4 nm/s et une plage de température du procédé de 5 à 850 ° C ULVAC VEP-1000 dispose d'un support de substrat inclinable à un seul axe et d'une unité de refroidissement intégrée pour une stabilité accrue du procédé. La machine de refroidissement intégrée permet le transfert efficace de la chaleur générée au cours du processus. L'outil complet de VEP-1000 est basé sur une architecture ouverte permettant un haut degré de configurabilité et de compatibilité avec d'autres contrôleurs, instruments et modules d'application utilisateur. ULVAC VEP-1000 est conçu pour être facilement entretenu et comprend un outil de maintenance automatisé pour nettoyer et entretenir régulièrement les parties internes du modèle. Sa conception robuste et ses fonctionnalités automatisées garantissent des résultats de processus fiables et reproductibles ainsi qu'une longue durée de vie. La fonction d'automatisation avancée de VEP-1000 réduit également considérablement le temps de configuration et de maintenance, ce qui en fait un choix idéal pour de nombreuses applications CVD.