Occasion ULVAC VPC-260 #9296182 à vendre en France

ULVAC VPC-260 est un réacteur à décharge capacitive basse tension (CD) couramment utilisé comme source de plasma. Ce type de réacteur est idéal pour des procédés tels que la gravure, le dépôt et la modification de surface. VPC-260 est équipé d'un contrôleur numérique de travail (DWC), permettant aux utilisateurs de contrôler avec précision les paramètres du processus tels que la tension, la durée des impulsions et les paramètres de capacité. La chambre ULVAC VPC-260 est construite avec de l'acier inoxydable et du cuivre nickelé. Une fenêtre en quartz dans le haut du réacteur permet à l'utilisateur de surveiller les conditions plasmatiques en temps réel, tandis que la plage de température du réacteur de 30 à 200 ° C aide à prévenir la surchauffe pendant les longs cycles de processus. VPC-260 est également équipé d'un mécanisme de serrure d'air pour introduire du gaz de dégazage dans la chambre. Le sas aide à réduire le risque de contamination, car les gaz de procédé n'atteignent jamais la chambre principale. ULVAC VPC-260 utilise un mode double impulsion de CD qui aide à générer des densités de flux élevées d'ions et de radicaux à partir du plasma, ainsi que des puissances élevées à partir de faibles énergies d'entrée. La faible énergie d'entrée contribue également à réduire l'usure des électrodes du réacteur par rapport aux autres sources de plasma. VPC-260 s'est avéré compatible avec un large éventail de substrats, tels que le silicium polycristallin, le verre et l'arséniure de gallium. ULVAC VPC-260 dispose également d'un fonctionnement sans gaz, ce qui signifie qu'aucun équipement de manutention du gaz en amont n'est nécessaire. Cela en fait un choix idéal pour une variété de processus, en particulier ceux en laboratoire en raison de sa conception peu encombrante et de sa facilité de fonctionnement. Dans l'ensemble, VPC-260 est un réacteur à CD fiable et polyvalent qui offre une grande flexibilité pour une variété d'applications et de procédés plasmatiques. Avec ses grandes puissances, ses faibles énergies d'entrée et son fonctionnement sans gaz, ce réacteur est capable de répondre aux besoins de nombreuses applications.