Occasion UNAXIS / OERLIKON / ESEC LA #9308045 à vendre en France

ID: 9308045
Style Vintage: 2008
PECVD System 2008 vintage.
UNAXIS/OERLIKON/ESEC LA Reactor est un système industriel continu de traitement de plasma conçu pour diverses applications industrielles. Il est spécifiquement destiné à la production et à la gravure de dispositifs avancés et de composants électroniques. Le réacteur ESEC LA est composé d'une chambre avec une source magnétron interne. La chambre est conçue avec une géométrie à double chicane, permettant un meilleur contrôle des lignes de flux qui sont maximisées par l'utilisation de champs magnétiques. La conception globale présente une paroi haute conductrice qui favorise le refroidissement rapide du procédé. Les opérations de ce réacteur sont réalisées sous de basses pressions et hautes températures dans divers gaz tels que le xénon, l'oxygène, le chlore, l'hydrogène et l'azote. Les principaux avantages du réacteur UNAXIS LA par rapport aux autres modèles sont sa distribution de puissance parallèle, ses caractéristiques plasmatiques stables, son courant d'émission élevé pouvant atteindre 800 A, son fonctionnement sans service, son faible coût de fonctionnement et ses temps de démarrage rapides. Le contrôle du réacteur assure une grande précision et répétabilité du procédé, conférant au réacteur une répétabilité élevée. Cela le rend très adapté à une production industrielle moyenne à grande. OERLIKON LA Reactor est équipé d'un certain nombre de caractéristiques de sûreté qui fournissent un niveau de sécurité élevé tout au long de la production de dispositifs et composants avancés. Ces mesures de sécurité comprennent des limites de basse tension électrique, des soufflantes d'échappement intégrées pour l'évacuation des sous-produits de procédé, des mélanges de gaz et des mélanges avec des particules liquides ou solides, ainsi qu'un niveau surveillé pour les activités sans éclat. Une autre caractéristique clé du réacteur LA est l'incorporation d'un générateur de puissance avancé qui offre les changements souhaités dans la puissance pulsée. Ces changements dépendent du niveau de gravure requis et fournissent une résolution et un nettoyage plus élevés de la zone. Cette caractéristique permet d'utiliser le réacteur dans des opérations plus précises et d'augmenter la productivité sans compromettre la qualité. Le réacteur UNAXIS/OERLIKON/ESEC LA est donc un processeur industriel à plasma avancé, efficace et riche en fonctionnalités pour la production et la gravure de dispositifs et de composants avancés. Il offre d'excellentes mesures de contrôle des processus et de sécurité, ainsi qu'un haut niveau de précision et des opérations reproductibles. Elle est donc particulièrement recommandée pour des applications de production industrielle à haut volume.
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