Occasion VEECO 695 #9291133 à vendre en France
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ID: 9291133
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2013
CVD System, 8"
No Hard Disk Drive (HDD)
2013 vintage.
VEECO 695 est un réacteur de traitement du plasma, conçu pour produire des composants sophistiqués et de haute précision pour les dispositifs semi-conducteurs, LED, photovoltaïques et médicaux. Le réacteur est construit avec un moteur à aimant permanent à entraînement direct avancé et un équipement de portique à cinq axes. Le système prend en charge plusieurs plaquettes à double processus ainsi qu'une plaquette. 695 offre une gamme impressionnante de fonctionnalités pour le traitement plasma avancé qui peut être personnalisé en fonction des applications de processus spécifiques. Il est conçu avec une interface intérieure ouverte pour supporter plusieurs technologies. Cette interface ouverte la rend compatible avec les sources de plasma VEECO, les générateurs de faisceaux ioniques et les ellipsomètres à balayage. Il est également disponible en trois modèles d'absorption. VEECO 695 dispose de deux chambres qui composent le réacteur. Le premier est conçu pour tenir la plaquette de procédé et l'autre tient la source de plasma. La plaque de procédé peut avoir jusqu'à 30 pouces de diamètre, avec une épaisseur jusqu'à 100 microns. La source de plasma est capable de générer jusqu'à 1,5 Torr de pression lors du traitement. 695 dispose d'une interface unitaire unique, permettant aux utilisateurs de contrôler le réacteur à distance pour un contrôle et une précision maximum. Les outils intégrés de suivi des processus permettent aux utilisateurs de surveiller les paramètres du processus et de suivre les progrès de la plaquette en temps réel. Le réacteur utilise une machine de contrôle de température multi-zones qui peut maintenir des températures précises pour la chambre et la plaquette. VEECO 695 est adapté à une grande variété d'applications, depuis les photomasques, les résistances et le nettoyage des plaquettes jusqu'aux procédés de gravure, de dépôt et d'oxydation. Ses caractéristiques avancées et sa conception soutiennent des procédés de haute précision et rendent le réacteur idéal pour les besoins de traitement du plasma les plus précis et exigeants. La combinaison unique de design, de performance et de polyvalence de la 695 en fait un excellent choix pour toute application.
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