Occasion VEECO E450 #293641838 à vendre en France

Fabricant
VEECO
Modèle
E450
ID: 293641838
MOCVD System.
VEECO E450 est une solution complète clé en main pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il s'agit d'un réacteur de gravure et de dépôt polyvalent conçu pour fabriquer des composants semi-conducteurs complexes. Le réacteur est composé d'une armoire horizontale entièrement fermée, contenant les composants de coeur du réacteur. À gauche de l'armoire se trouve la Chambre des procédés, qui abrite les cellules de dépôt électrochimique primaires et les cellules de gravure des gaz résistifs. La chambre de procédé est exploitée par un contrôleur logique programmable (PLC), qui assure un contrôle précis de l'environnement du réacteur. À droite de l'armoire se trouve l'échangeur de chaleur, qui transfère la chaleur de la chambre de procédés au système de refroidissement du réacteur. Le système de refroidissement est composé d'une série de plaques de refroidissement, de ventilateurs et de refroidisseurs d'huile, ce qui assure le maintien de la température désirée par le réacteur. L'échangeur de chaleur est également chargé de régler la pression statique du vide du réacteur. La pression statique est critique pour l'application contrôlée de réactifs sur les substrats. La Chambre des processus est organisée en trois domaines de processus, chacun ayant ses propres processus et contrôles. Le premier domaine de traitement est la chambre de dépôt de platine, qui utilise un procédé électrochimique pour déposer le platine et d'autres métaux sur le substrat. La chambre de dépôt de platine est équipée d'un régulateur à jet de gaz, qui permet un contrôle précis des réactifs pendant le processus. Le deuxième domaine de procédé est la chambre de gravure des gaz résistifs, qui utilise un plasma haute fréquence pour graver des structures complexes sur le substrat. La chambre est équipée d'un système de régulation de température en boucle fermée, qui assure un environnement de gravure stable. Le troisième domaine de processus est la chambre de gravure ionique réactive, qui combine la pulvérisation physique et la gravure ionique pour créer des motifs complexes sur les substrats. E450 est un réacteur polyvalent et convivial, conçu pour créer une large gamme de composants semi-conducteurs. Avec ses systèmes de contrôle de précision et ses procédés sophistiqués, VEECO E450 est le choix idéal pour les professionnels de la fabrication dans l'industrie des semi-conducteurs.
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