Occasion VEECO / EMCORE D125 #293793344 à vendre en France

VEECO/EMCORE D125 est un réacteur de pulvérisation magnétron à résonance cyclotron électronique verticale de haute puissance (ECR) conçu pour diverses applications de dépôt de pulvérisateurs. Le réacteur est doté d'une cathode verticale en molybdène et d'une anode pouvant accepter des cibles jusqu'à 125 mm de diamètre. Le four est capable de supporter des pressions jusqu'à 6 Torr avec une limite inférieure possible de 3 Torr, et dispose d'une buse de mélangeur de gaz unique qui crée un environnement gazeux cohérent et uniforme dans la zone de dépôt. Le réacteur est alimenté par une puissance micro-ondes ECR, équipée d'un guide court avec une ouverture de guide d'onde pouvant atteindre 125 mm. Ceci permet un couplage direct des guides d'onde de la puissance micro-ondes ECR pour des taux de dépôt plus élevés et une plus grande efficacité d'ionisation. VEECO D125 fonctionne à 13,56 MHz, et dispose d'un système intégré de commande de puissance pour un contrôle précis du niveau de puissance hyperfréquence ECR. Le système de contrôle de la puissance permet également un meilleur contrôle de la recette des paramètres du système tels que la taille de la cible, la forme de la cible, la vitesse de dépôt, la pression de base et la puissance hyperfréquence. Le réacteur offre différentes options de chauffage, y compris jusqu'à trois sources de chauffage RF et le chauffage par lampe à quartz, et un pyromètre intégré pour les mesures de température. Avec un pyromètre installé, le four peut également être utilisé pour les procédés d'oxydation et de recuit. Les lampes à quartz disponibles avec EMCORE D125 ont des intensités réglables et sont disponibles en infrarouge, ultra-violet et ultra-violet profond avec une hauteur réglable pour un chauffage précis du substrat. En plus de ses caractéristiques, D125 réacteur peut également être personnalisé pour répondre aux besoins des clients, tels que le choix parmi plusieurs conditions de pression de base, les longueurs de harnais cibles personnalisées et les conceptions d'anode, et la source à distance configurable en option. Le réacteur est également certifié pour une utilisation dans des environnements de zones dangereuses et possède un large éventail de classifications, y compris ATEX et IATx. Cela le rend adapté à une variété d'applications, y compris les laboratoires industriels, de recherche et universitaires. Dans l'ensemble, VEECO/EMCORE D125 est un réacteur efficace, fiable et personnalisable conçu pour offrir des performances et une qualité de dépôt inégalées. Le réacteur offre une gamme d'options flexibles et est un excellent choix pour une variété d'applications de dépôt de pulvérisateurs.