Occasion VEECO / EMCORE D125 #9212026 à vendre en France
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ID: 9212026
Style Vintage: 2003
MOCVD System
(2) Chillers
Semi-automatic wafer transfer
Gas delivery system
Flanges constructed of 316L stainless steel
Reactor & gas panel: With exhaust vented steel & polycarbonate cabinet panels
HEPA Filtered wafer loading area
With system cabinet
7-8 Metal organic channels (Switchable from N2 to H2 carrier gas)
3-4 Hydride channels
Standard non-emissivity corrected pyrometer included
Up to 3 2"/1 3" wafers per run capability
(4) SiC Coated wafer carriers: (2) Standard 3 x 2" / (2) Custom configurations
EBARA A70W Process pump
MKS Butterfly reactor exhaust line pressure control valve
With PID control
Turbo molecular pump / Scroll dry pump for load lock
CTC Controller with low noise analog card for T/C channel
MO & Hydride delivery SS lines
Heaters and controls
(5) MO Bath water chillers
AFFINITY / LYTRON / Equivalent heat exchanger
Turbo rotation: 1500 RPM
Safety alarm system
Control system:
Operating system: Windows 7
Personal computer (PC)
With flat panel monitor
Alarms
Routines provide unparalleled control system versatility
Spare parts:
(3) Analog cards
(2) Digital cards
(2) MFC
PCU
Baratron
ATMI CDO 862 Abatement system
Combination scrubber and burn-box
Nitride MOCVD precursors: NH3, H2, SiH4, MOs
Handling maximum D125/D180 gas flows (according to OEM specifications)
Scrubber water: Recirculated in loop
PRAXAIR (3) Bottles ULTRA PURGE ammonia gas cabinet
Internal gas network: ULTRA PURGE Controller
(2) 501b ammonia bottles
Does not include nitrogen purge bottle
Air products AP10, 24" silane gas cabinet
Touch screen controls
(2) SILANE Bottles
Indoor gas distribution panel for hydrogen and nitrogen:
Anodized aluminum: 3 ft. x 4 ft./ Smaller gas panel
Cylinder banks and nitrogen purge: Manifold with (2) hydrogen inlets
(2) Pressure regulators
(3) Check valves
(2) Inline particle filters
(8) Manual valves
High purify 1/4 inch tubing
Tees
Weldments (Orbital welding)
(2) Pressure gauges
Leak checking and certification of leak integrity
Outdoor gas distribution panel for hydrogen with nitrogen purging capability:
36 in x 9 in / Smaller anodized aluminum gas panel
Purging & switching manifolds for (2) six pack cylinders
Manual valves and (2) check valves
UHP 1/4 inch Tubing
Weldments (Orbital welding)
(2) Pressure gauges
Leak checking & certification of leak integrity
System electrical specification:
208 / 220V
50 or 60 Hz
3 φ 150 A per φ
5 Wire with GND
Gas supply specification
Type / Rating / Max flow / Mean flow
Purified H2 / 30-40-100 PSIG / 65 SLM / 30-40 SLM
Purified N2 / 80-100 PSIG / 70 SLM / 20-40 SLM
N2 House feed / 80-100 PSIG / 50 SLM / 25 SLM
CDA/N2 for pneumatics / 80-100 PSIG / 50 SLM / < 15 SLM
NHa / 40-60 PSIG / 30 SLM / -
100 ppm SiH« in UHP H2 / 20-30 PSIG / 22 SLM / -
2003 vintage.
VEECO/EMCORE D125 est un équipement de réacteur général conçu pour soutenir le développement de procédés avancés, la recherche universitaire et les opérations de fabrication à l'échelle de la production. VEECO D125 intègre la technologie avancée des murs chauds couramment utilisée dans les procédés catalytiques hétérogènes et les applications nanomatériaux. Le système du réacteur est spécifiquement optimisé pour permettre un contrôle précis de la température, de la pression et du temps de séjour, tout en offrant une productivité optimale pour une grande variété de procédés. La conception modulaire d'EMCORE D125 permet une configuration personnalisée pour répondre au mieux aux besoins de l'utilisateur. Il dispose d'un mur chauffant intégré avec des températures maximales jusqu'à 220 ° C et des pressions internes jusqu'à 22 bar. La paroi chauffée est constituée de fentes annulaires qui permettent un transfert de chaleur efficace de la paroi au procédé. L'architecture modulaire, adaptable, permet de modifier le dispositif pour supporter à la fois le traitement par lots et le traitement continu. De plus, la conception globale et le réglage du réacteur sont simples et peuvent être facilement configurés pour accueillir différentes tailles de réacteurs, températures, pressions et temps de séjour. D125 offre aux utilisateurs une variété d'options de contrôle des processus, allant des contrôles manuels aux contrôles automatisés, ce qui facilite et souple le développement de processus complexes. Des systèmes de contrôle automatisés peuvent être intégrés pour surveiller les paramètres clés, ajuster les paramètres et enregistrer les données donnant des résultats reproductibles. Des simulations de chronologie de processus peuvent être programmées pour des stratégies répétitives telles que le rafraîchissement cyclique de temp, et des augmentations/diminutions de pression. Pour les opérations nécessitant une sensibilité élevée au processus, VEECO/EMCORE D125 peut être bien configuré pour fournir une maîtrise complète des risques et des mesures autres que celles habituellement prévues, comme un arrêt de sécurité. VEECO D125 a un large éventail d'applications dans toutes les industries et applications. Il peut être déployé dans les processus de spectroscopie UV-Vis, de comptage de scintillation et de placage. De plus, l'unité est utilisée en spectrométrie de masse, chromatographie, caractérisation électrochimique et découverte de médicaments. EMCORE D125 est bien adapté à la fabrication de produits pharmaceutiques, de nanotubes de carbone et d'autres protéines dans l'industrie biochimique. Et sa technologie de pointe est particulièrement utile pour la synthèse des nanomatériaux, qui nécessitent souvent soit des températures très élevées, des débits élevés, soit des temps de réaction prolongés. Dans l'ensemble, D125 est une machine de réacteur flexible, robuste et fiable optimisée pour soutenir le développement de procédés avancés, la recherche universitaire et les applications de production axées sur les performances. La conception modulaire haute performance offre un contrôle intégré, une température, une pression et un temps de séjour précis, une productivité accrue et des caractéristiques de sécurité améliorées assurent des résultats de processus fiables, reproductibles et reproductibles.
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