Occasion VEECO / EMCORE D180 GaAs #9031463 à vendre en France
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ID: 9031463
Style Vintage: 1999
MOCVD System
Throughput: 6" x 2"
MO Sources: TMAl-1, TMGa-2, DEZn-1, TMIn-1, CCl4-1
Hydride sources: PH3, AsH3, H2, N2, Si2H6, H2S
Epison III for TMIn
IEM (GB)
1999 vintage.
Le réacteur VEECO/EMCORE D180 GaAs est un outil de dépôt en phase vapeur avancé de qualité de production pour le traitement d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce réacteur permet une production constante de composants et de matériaux de haute qualité à base de GaAs pour une gamme d'applications telles que les photoniques, les cellules solaires et les dispositifs optoélectroniques. L'équipement est composé de trois composants principaux : la chambre de dépôt sous vide, la chambre de vaporisation et le revêtement d'échappement. La chambre de dépôt sous vide abrite le substrat, monté sur le porte-substrat, et est utilisée pour recevoir l'évaporation, la pulvérisation et d'autres procédés de dépôt de films. La chambre est équipée de ports de vue en quartz in situ, permettant un suivi en temps réel des processus de croissance. La chambre de vaporisation est utilisée pour l'alimentation en matériau source, qui est ensuite délivré au substrat. Des gaz peuvent être admis dans la chambre pour faciliter ou modifier le processus de dépôt. Le revêtement d'échappement permet de maintenir une pression de vide uniforme dans la chambre de dépôt, ce qui assure des conditions de processus optimales pour le dépôt de matériaux. Le réacteur VEECO D180 GaAs est conçu pour fonctionner dans une large gamme de températures, jusqu'à 550 degrés Celsius, permettant le dépôt en phase vapeur à haute température et l'électrodéposition des métaux, y compris l'or, l'aluminium et le cuivre. Le système a une vitesse de dépôt rapide, permettant un débit élevé de composants. Le réacteur est équipé d'un port USB standard pour la communication avec d'autres machines ou contrôleurs. L'unité comprend également un traitement intégré, y compris le streaming vidéo, la synthèse des sels métalliques et le contrôle direct des taux de dépôt, permettant un contrôle automatisé des processus de dépôt. La machine répond à toutes les normes de sécurité et dispose d'une conception de sécurité avancée, y compris un contrôle intégré des processus, un refroidissement de l'eau, des mesures de sécurité et des systèmes d'arrêt d'urgence. Réacteur EMCORE D180 GaAs est facile à utiliser, avec des services de maintenance facilement disponibles. Un large éventail de matériaux et de composants peut être traité avec l'outil, élargissant encore la gamme d'applications et permettant une production plus efficace de composants à base de semi-conducteurs.
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