Occasion VEECO / EMCORE D180 #293760075 à vendre en France

VEECO / EMCORE D180
Fabricant
VEECO / EMCORE
Modèle
D180
ID: 293760075
MOCVD Systems Process: GaN and As/P.
VEECO/EMCORE D180 est un réacteur semi-conducteur compact conçu pour des applications de traitement de surface. Il utilise un gaz précurseur et un faisceau d'électrons de haute énergie pour déposer des couches minces de matériaux semi-conducteurs sur des substrats. L'équipement est conçu pour assurer un contrôle extrêmement précis des paramètres du procédé, assurant un haut degré de répétabilité et de précision lors du dépôt de couches minces conformes sur des substrats. VEECO D180 est équipé d'un puissant canon à électrons produisant un courant de faisceau approximatif de 7,5 ampères et une tension d'accélération jusqu'à 500kV. Il utilise une configuration à double anode pour un faisceau d'électrons de plus grande uniformité. Le réacteur comprend également une chambre de contrôle à quartz pour visualiser la progression du dépôt de film, ce qui facilite l'optimisation du procédé pour diverses applications de matériaux. EMCORE D-180 est en outre équipé d'un nouveau système d'interception de processus qui ferme instantanément le faisceau lors de la détection d'une interruption de processus, évitant ainsi des dommages au substrat. L'unité utilise une machine de réduction assistée par ventilateur efficace qui est conçue pour capturer les matières dangereuses et les transporter à une unité d'élimination secondaire. L'outil de réduction comprend un filtre HEPA ainsi qu'un filtre à carbone pour s'assurer que la matière dangereuse est transportée efficacement et en toute sécurité hors de la zone de travail. L'actif utilise des techniques novatrices de sélection telles que le « balayage des substrats » pour contrôler complètement le processus de dépôt. EMCORE D180 supporte de multiples techniques de marquage, y compris le procédé de masque, le procédé de ligne de numérisation et un nouveau « procédé de dépôt rapide ». Le modèle est également équipé d'un contrôleur haute performance pour s'assurer que le processus de dépôt est suivi avec précision, en veillant à ce que les paramètres du processus soient ajustés efficacement pour maximiser le rendement. La conception de VEECO/EMCORE D-180 le rend hautement adapté à diverses applications de semi-conducteurs, telles que la fabrication de MEMS, les emballages électroniques, les ODIC et les dispositifs optoélectroniques. Il a été conçu pour fournir un processus de production robuste, stable, répétable et rentable pour ses applications prévues.
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