Occasion VEECO / EMCORE D180 #9178724 à vendre en France

VEECO/EMCORE D180 est un réacteur à plasma à pression atmosphérique, conçu pour l'implantation d'ions positifs et le dépôt d'oxydes, de nitrures, de métaux et de silicures. Il dispose d'une longue chambre ovoïde qui facilite la distribution uniforme des gaz à l'aide d'une paire de plaques déflecteurs tourbillonnantes. Sa conception flexible permet une modification facile et offre une excellente uniformité de processus et répétabilité par rapport aux conceptions traditionnelles à came. Le réacteur est équipé de deux électrodes en graphite de taille et de forme variables pour répondre à des besoins différents en implants. L'isolation interne assure une ionisation de procédé plus élevée et une intensité d'implant accrue par rapport aux pistolets à ions traditionnels, tandis que l'émetteur auto-polarisant présenté maintient une décharge électrique stable même lors de grandes déformations de processus. La principale source de plasma utilise le couplage inductif pour ioniser un large éventail de gaz de procédé, et comprend le contrôle de procédé et le matériel d'acquisition de données. Les faces d'extrémité de chaque électrode sont crénelées pour augmenter le champ magnétique qui sépare les électrons des espèces ioniques. La quantité de champ magnétique nécessaire pour obtenir la stabilité du plasma augmente avec le rayon de la chambre, assurant une uniformité constante de la densité totale du plasma dans toute la chambre. VEECO D180 dispose d'un système avancé d'alimentation en gaz avec régulateurs de débit massique pour une livraison et une sélection précises du gaz. Les mélanges de gaz peuvent être changés en temps réel, et la régulation automatique de la pression maintient un contrôle précis de la pression de la chambre et de la température du substrat. Le système capture toutes les données de courant et de tension au cours d'une exécution pour la surveillance et le contrôle du processus complet, et peut également être surveillé extérieurement via une connexion Ethernet. Enfin, le système peut être relié à un four de recuit, permettant le post-recuit d'échantillons. Les basses températures de fonctionnement et les mécanismes avancés de contrôle des émissions minimisent l'impact sur l'environnement. En conséquence, EMCORE D-180 est un équipement de dépôt de plasma économique et respectueux de l'environnement, avec d'excellentes caractéristiques de dépôt et capacités de traitement.