Occasion VEECO / EMCORE D9000 #293765079 à vendre en France

VEECO / EMCORE D9000
Fabricant
VEECO / EMCORE
Modèle
D9000
ID: 293765079
MOCVD System.
VEECO/EMCORE D9000 est un réacteur puissant conçu pour les procédés de dépôt de R&D dans les secteurs de l'électronique, des semi-conducteurs et de l'optique. Le réacteur VEECO D9000 est capable de traiter une variété de matériaux aux températures de traitement les plus élevées possibles avec un débit, une uniformité et une précision exceptionnels. C'est l'un des systèmes de traitement des gravures sèches et des dépôts les plus avancés de l'industrie, offrant une flexibilité et des performances exceptionnelles en un seul emballage. Le réacteur est conçu avec une capacité de traitement à haute température allant jusqu'à 800 ° C, ainsi qu'une impressionnante gamme de pression de 0,1 mBar jusqu'à 10 Torr. Le contrôle de la température et de la pression d'EMCORE D9000 permet un meilleur contrôle du processus de dépôt et de gravure pour un plus grand degré de précision et de répétabilité. D9000 a un anisotropic gravent la capacité à l'eau forte et utilise des techniques de co-bafouillage Ar/O2. La chambre dispose également d'un large choix de gaz de procédé, y compris des gaz spéciaux tels que le NF3, le SF6 et l'aluminium triméthylique. La grande capacité de traitement de VEECO/EMCORE D9000, ainsi que sa large gamme de fonctions facultatives, y compris x, y, z scanner, le retard de la source de plasma, le contrôle de l'énergie et du débit de la source d'ions, le contrôle de la puissance RF et la réflectance in situ du quartz, le rendent adapté à un large éventail d'applications. Les caractéristiques avancées de dépôt et de gravure du système permettent des températures de traitement plus élevées et une plus grande uniformité dans le dépôt de couches minces. VEECO D9000 dispose également d'une surveillance de la température à haute performance ainsi que d'une métrologie et d'une imagerie avancées, afin de pouvoir rapidement analyser, comparer et vérifier les résultats des opérations de traitement. Le réacteur comprend également CIMS (process instrumentation management system) et SYS-Control (flexible process automation system) pour le contrôle étendu, la surveillance et l'analyse de données en temps réel. Cela permet des opérations quotidiennes plus efficaces et mieux informées, permettant une optimisation des processus plus efficace et plus précise. EMCORE D9000 est un réacteur de pointe idéal pour les procédés de dépôt de R-D pour les industries des semi-conducteurs, de l'électronique et de l'optique. Son traitement à haute température, sa large gamme de fonctionnalités optionnelles, ses systèmes de contrôle avancés et sa surveillance en font un outil puissant et polyvalent. Il est conçu pour assurer le plus haut niveau de précision et de répétabilité dans les processus de dépôt et de gravure.
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