Occasion VEECO / EMCORE E400 Gold As/P #9155030 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9155030
MOCVD systems
MO Source line : ( Normal x 7 / Dopant x 2 )
CBr4, DEZn,TESb,TMIn-1,TMIn-2, TMAl,TMGa-1,TMGa-2,IBuGa
Hydride source line: AsH3 x 2 ,PH3 x 2 ,Dopant A x 1,Dopant B x 2,Dopant C x 1
Epison III x 2 for TMIn
Currently de-installed
2000-2001 vintages.
VEECO E400 Gold As/P est un réacteur de pointe pour le traitement et le dépôt de couches minces dans l'ingénierie des semi-conducteurs. Ce réacteur As/P est conçu pour offrir un traitement à la fois performant et rentable pour un large éventail de matériaux, y compris les couches minces organiques et inorganiques. Le réacteur As/P est un tube en quartz à quatre faces avec une plate-forme programmable en deux étapes. Chacun des quatre côtés du tube à quartz est chauffé par une bobine d'induction, permettant un contrôle précis de la température et une uniformité. La première étape de la plate-forme est constituée de trois composants principaux, à savoir le bouclier inférieur en quartz, le bouclier médian en quartz et le revêtement en quartz. L'écran inférieur en quartz protège et isole la chambre de la chaleur générée par les bobines d'induction, tandis que l'écran médian en quartz protège la chemise du gaz combustible. La chemise en quartz est le deuxième étage de la plate-forme et est constituée d'un réseau d'électrodes de four en graphite, dont chacune est reliée à l'alimentation par un ensemble de fils. Les électrodes du four Graphite permettent un dépôt plus efficace des couches minces de manière plus uniforme. Le E400 Gold As/P dispose également d'un générateur d'impulsions automatisé, qui peut être programmé pour fournir diverses séquences d'impulsions on-off aux bobines d'induction pour le dépôt de couches minces. Cette caractéristique élimine tout réglage manuel de l'alimentation, augmentant encore l'efficacité et la précision de la machine. De plus, le E400 Gold As/P est équipé d'un système de caméra intégré pour observer et surveiller le processus de dépôt et fournir des commentaires en temps réel pour les ajustements nécessaires. Le E400 Gold As/P est un système puissant et polyvalent conçu pour répondre aux besoins de diverses industries, y compris la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, microélectroniques, chimiques et optiques. Il est largement utilisé dans les laboratoires de recherche et développement, ainsi que dans les installations de production, en raison de sa capacité à produire des films minces de haute qualité. La plate-forme programmable de la machine permet en outre de l'utiliser pour un large éventail d'applications, y compris le dépôt d'oxyde et de nitrure, le dépôt de films métalliques, la fabrication de LED, la fabrication de MEMS et de nombreux autres procédés. L'amélioration de l'efficacité, de la précision et de la qualité de la E400 Gold As/P en font un choix idéal pour les applications industrielles actuelles.
Il n'y a pas encore de critiques