Occasion VEECO / EMCORE E400 #293641832 à vendre en France

Le réacteur VEECO/EMCORE E400 (également connu sous le nom de Chemical Vapor Deposition Equipment) est un système de dépôt horizontal à haute température, ultra-sous vide, capable de produire des couches minces poly-cristallines et amorphes de haute qualité pour des applications à haute température et autres. Il s'agit d'une unité multifonctionnelle avec un procédé réactif Ion Etch pour produire des motifs gravés dans des couches diélectriques, ainsi qu'un procédé rapide de recuit thermique pour les couches amorphes. VEECO E400 dispose d'un mandrin de 4 pouces avec une chambre en aluminium de 20 pouces et un flux Kenics multi-axes pour les sources de dépôt. La pression à l'intérieur du réacteur est réglable et répond aux exigences des procédés de dépôt sous ultra-vide. Le réacteur comprend également des choix de pré-dépôt avec un obturateur mécanique, un module d'échantillonnage rotatif et une machine de pulvérisation automatique. En outre, EMCORE E400 est équipé d'une source d'énergie ionique pour nettoyer et activer le substrat avant les processus de dépôt et de gravure. E400 réacteur est conçu pour le dépôt de Super Conducteur et d'autres matériaux à haute température. La source de dépôt est capable de fonctionner à des températures allant jusqu'à 400 ° C La conception de VEECO/EMCORE E400 est spécifiquement conçue pour produire des couches de matériau très minces avec une température de dépôt faible afin d'assurer la plus grande répétabilité du processus. La source d'énergie ionique est capable de fournir un bombardement ionique jusqu'à trois fois par seconde, avec un courant maximal de 1-10mA. VEECO E400 est un outil de traitement sous vide ultra-élevé avec contrôle de processus exceptionnel. Il a la capacité de déposer une large gamme de matériaux en couches minces, de poly-cristalline et amorphe à Super Conductor. La facilité d'exploitation, la répétabilité et la précision de l'actif le rendent idéal pour la recherche et les applications commerciales. EMCORE E400 peut traiter une variété de tailles de substrat et de matériaux, y compris le verre et le quartz, pour le façonnage et le dépôt de couches minces optiques à haute température. Le modèle est également personnalisable en ajoutant des options RF et des modules automatisés de pré-nettoyage et de post-nettoyage.