Occasion VEECO / EMCORE E400 #9017783 à vendre en France
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ID: 9017783
GaAr/InP MOCVD reactors
Set up to run red LED's
Configured for 42x2
One system has a broken robot
1999 & 2000 vintage.
VEECO/EMCORE E400 est un type de réacteur conçu pour le traitement des semi-conducteurs et d'autres industries. C'est un équipement à haute résolution de faisceau d'électrons (faisceau électronique) qui a une plage d'énergie allant jusqu'à 400 kV et une plage de courant allant jusqu'à 20 mA. Ce système est équipé d'une gamme complète de traitements spécifiques, et sa précision offre des solutions optimisées pour les besoins de diffusion, d'implantation, de pulvérisation et d'application de revêtement. VEECO E400 peut être utilisé dans une variété de configurations de rôles, avec des configurations incluses pour la production et la R & D. Les composants de base de cette unité comprennent une chambre de procédé de 200 mm ou 300 mm, une machine à vide, une colonne de faisceau d'électrons de grande puissance, un canon à électrons à nitrure de gallium (GaN), une cathode d'émission de champ et un outil de mesure du courant de faisceau. L'actif est hautement configurable et supporte de nombreuses combinaisons d'applications, telles que les techniques de dopage et de re-dépôt, ainsi que l'imagerie ultra haute résolution. EMCORE E400 offre une précision inégalée dans le traitement des faisceaux d'électrons, avec une luminosité de source quatre fois plus élevée et une stabilité nettement meilleure que les systèmes concurrents en raison de son faisceau d'électrons auto-calibrant qui fournit avec précision et rapidement l'énergie et l'intensité requises pour les processus en une ou plusieurs étapes. Cette caractéristique, associée à la commande active et passive du courant de faisceau du modèle, produit un profilage de faisceau précis et une excellente précision de recouvrement. Cet équipement dispose également d'images de contraste élevé qui peuvent être utilisées avec une large gamme de modes d'imagerie SEM/STEM. Le système est également très fiable, avec du matériel et des logiciels conçus pour autosurveiller et alerter les opérateurs lorsqu'il y a une différence de performance. Les caractéristiques de sécurité comprennent des seuils de puissance programmables et une unité de refroidissement redondante. D'autres fonctionnalités conviviales comprennent un menu de commande de puissance et un accès à télécommande, permettant au personnel de contrôler et de surveiller la machine à distance. Dans l'ensemble, E400 est un réacteur à faisceau d'électrons de haute précision qui offre un contrôle précis du processus et une vaste gamme d'applications. Sa facilité d'utilisation inégalée et sa précision remarquable permettent aux utilisateurs de produire des résultats de processus de haute qualité qui peuvent être adaptés aux besoins individuels des clients.
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