Occasion VEECO / EMCORE E400 #9302576 à vendre en France

Le réacteur VEECO/EMCORE E400 est un outil de réacteur à usage général conçu pour diverses applications de croissance en couches minces. Ce réacteur est un système orienté verticalement qui atteint un niveau de performance exceptionnel avec la capacité de supporter un certain nombre d'applications telles que le formage, la gravure, le dépôt de matière et le recuit. Sa conception unique comprend une partie supérieure qui se compose de trois zones thermiques - une zone à haute température (typiquement 250-600 ° C), une zone à moyenne température (typiquement 100-400 ° C) et une zone à basse température (typiquement 50-300 ° C). Ces zones sont indépendantes les unes des autres, assurant un contrôle précis de la température et permettant que des processus à basse température se produisent en même temps que les processus à haute température sont en cours. Le réacteur a une conception unique de serrure à bride symétrique qui permet des tailles de substrat différentes et un mouvement relatif entre les sources et les substrats. Ceci ajoute de la souplesse à l'outil, permettant le dépôt de films sur des substrats non carrés, tels que des satellites ou d'autres substrats de forme cylindrique. La conception bidimensionnelle de VEECO E400 permet une plus grande flexibilité des processus car plus de processus peuvent être menés simultanément sans sacrifier la performance ou la productivité. EMCORE E400 dispose également d'une large gamme de capacités de chambre de procédés, y compris le dépôt de pulvérisateurs basse pression/haute pression, basse pression/flashlamp haute pression, DC (courant continu) et RF (radiofréquence), les capacités de dépôt en phase vapeur physique ionisé (iPVD), le dépôt en phase vapeur chimique organique métallique (MOCVD) et le dépôt chimique assisté par plasma (PACd Sa nouvelle capacité de reconditionnement à chaud permet un dépôt plus rapide des matériaux dans une variété de procédés. De plus, le réacteur a un taux de variation rapide de la pression du gaz supérieur à 1000 Torr/s, ce qui donne des résultats de haute qualité. E400 Réacteur est un outil haut de gamme et hautement capable qui est idéal pour développer des produits de nouvelle génération nécessitant des substrats de grande surface, un dépôt de film de haute précision, un débit de matériaux accru ou des capacités de puissance élevées. Sa gestion thermique avancée et son uniformité, sa flexibilité multi-zones, son débit élevé, sa compatibilité à basse température et ses capacités de haute puissance en font une solution attrayante pour de nombreuses applications où les performances ou l'efficacité sont prioritaires.