Occasion VEECO / EMCORE E400 #9395073 à vendre en France

Le réacteur VEECO/EMCORE E400 est un outil avancé de fabrication de semi-conducteurs utilisé pour créer une variété de différents circuits intégrés photoniques. Il est typiquement utilisé dans la conception et la réalisation de circuits intégrés photoniques complexes tels que les amplificateurs optiques à semi-conducteurs, les interféromètres Mach-Zehnder et les lasers DFB. Le réacteur VEECO E400 est capable de produire jusqu'à 300 mm de plaquettes, ce qui lui permet d'être utilisé dans la production de dispositifs photoniques à petite échelle tels que les VCSEL et les LED HD. Le réacteur EMCORE E400 utilise un procédé multi-zones en plusieurs étapes qui implique un vide ultra-élevé, une photolithographie, un dépôt embarqué et un système réactif de gravure d'ions. Ceci permet un contrôle précis du dépôt des couches de film et une gravure des structures. E400 Le réacteur est capable de produire des caractéristiques fines jusqu'à 0,25 μ m et des rapports d'aspect jusqu'à 10:1. Réacteur VEECO/EMCORE E400 utilise une variété de sources et de détecteurs pour assurer le dépôt le plus précis de tous les matériaux utilisés dans la production, des métaux aux diélectriques. Le système contient quatre lampes à quartz montées sur colonne qui produisent une exposition aux UV à large bande, tandis que 19 diodes laser ultra-violettes sont utilisées pour fournir une imagerie par balayage de ligne pour un traitement de haute précision. Les diodes laser permettent également l'exposition simultanée de couches multiples, ce qui permet une production industrielle à haut débit de dispositifs photoniques multiples. Le réacteur VEECO E400 contient également un système d'injection de gaz pour le dépôt de matériaux à couches minces de type CVD. Ceci permet un contrôle précis du processus de dépôt et assure des propriétés de film cohérentes. Le réacteur EMCORE E400 contient également une turbine à haute vitesse pour la gravure rapide des surfaces du substrat afin de créer des caractéristiques à haut rapport d'aspect. Dans l'ensemble, E400 Reactor est un outil avancé capable de produire avec précision une variété de circuits intégrés photoniques. Il est très précis, avec des sources et des détecteurs propriétaires permettant un dépôt précis de couches minces tandis qu'une turbine à grande vitesse assure une gravure rapide des matériaux. Cet outil de pointe est capable de réaliser une variété de circuits intégrés photoniques à l'échelle industrielle avec une grande précision et une grande vitesse.