Occasion VEECO / EMCORE E450 #9255826 à vendre en France

VEECO/EMCORE E450 est un réacteur RIE (Reactive Ion Etching) horizontal à paroi chaude conçu pour le traitement des plaquettes. Il est capable de traiter des plaquettes de 4 pouces, 6 pouces et 8 pouces. VEECO E450 dispose d'un équipement de manutention automatique des plaquettes, qui permet un chargement/déchargement rapide et le placement précis d'une plaquette dans/hors de la chambre du réacteur. La température minimale de la chambre est de 25 ° C, ce qui permet un contrôle précis de la température lors de la gravure. EMCORE E450 a une construction en tubes métalliques et est conçu pour être utilisé dans une enceinte à double type, avec un environnement inerte (non réactif) de purge des gaz, ce qui permet la gravure d'un large éventail de matériaux avec un risque minimal de contamination. Le réacteur est conçu pour fonctionner avec une variété de gaz, y compris O2, Ar, SF6, Cl2, BCl3, et gaz combinés. La faible contamination par les particules permet la production de micropuces IC avec des rendements élevés et la qualité du produit. Le système dispose d'une unité de distribution de gaz en aval, qui assure une livraison stable de gaz réactifs de haute pureté et de traitement. La configuration du substrat permet une variété de paramètres de processus tels que la pression, le débit, la température, le mélange gazeux et la puissance afin d'optimiser le processus de gravure pour l'application souhaitée. E450 dispose également d'alimentations VUV (Vacuum Ultra Violet) et RF (Radio Frequency), qui permettent de contrôler avec précision les conditions de processus et garantissent une bonne uniformité entre plaquettes. VEECO/EMCORE E450 est une machine de réacteur fiable et robuste, conçue pour la gravure d'une large gamme de substrats, y compris le silicium, les silicates et les polymères. Il fournit des résultats robustes répondant à des normes de performance élevées, assurant une gravure propre et précise. Le réacteur est un outil convivial, offrant une interface utilisateur simple pour une configuration rapide et des paramètres programmables pour l'optimisation des processus. VEECO E450 est un atout fiable et puissant, ce qui en fait un excellent choix pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.