Occasion VEECO / EMCORE E450 #9283612 à vendre en France

Le réacteur VEECO/EMCORE E450 est un équipement de gravure plasma de haute précision conçu pour des applications semi-conductrices. Le système est conçu pour être utilisé dans la fabrication de dispositifs à l'état solide, d'optoélectronique et de systèmes optiques. VEECO E450 offre les plus hautes performances et les procédés de gravure les plus précis disponibles dans l'industrie. La plateforme offre une grande variété de paramètres, de précision, de stabilité, de sélectivité et de répétabilité pour un meilleur contrôle des processus. EMCORE E450 dispose d'une conception avancée de source de plasma qui fournit une densité de plasma de gaz uniforme sur tout le plan de la plaquette. Cette capacité permet à l'unité de fournir des performances de gravure optimales sur une grande variété de conceptions d'appareils. La conception de la source permet à la machine de fournir des taux de gravure élevés avec une énergie ionique faible, et une capacité de contrôle de la largeur de gravure précise. E450 est conçu pour fonctionner efficacement à haute pression, fournissant une sélectivité de gravure précise. L'outil peut être configuré pour fonctionner avec une large gamme de gaz, y compris F2, C4F8, SF6, NF3 et CHF3, fournissant une plate-forme de gravure polyvalente. En outre, VEECO/EMCORE E450 est capable de fournir des taux de gravure élevés sans produire de grandes instabilités plasmatiques. L'actif intégré VEECO E450 comprend un ensemble d'alimentation en gaz sophistiqué, un mécanisme de haute précision pour délivrer l'électrode centrale sur le plan de la plaquette pendant la gravure, et une plate-forme d'interface matérielle intégrée. La plate-forme est conçue pour assurer une intégration transparente avec d'autres composants du modèle. Cela permet au réacteur de fonctionner dans une variété de paramètres de processus, tels que le traitement par lots et monocouche. Le mécanisme de haute précision de l'équipement permet une gravure précise et répétable des microstructures. Le mécanisme est également capable de délivrer l'électrode centrale dans le plan de la plaquette, offrant des profils de gravure optimisés et évitant les bourrelets. De plus, la plate-forme EMCORE E450 est conçue pour fournir des balayages de plaquettes basse tension avec contrôle de mouvement de haute précision pour des structures de profil précis. E450 plate-forme fournit une variété de capacités avancées de contrôle de processus et de diagnostic. Il est également conçu pour interagir avec un large éventail d'équipements accessoires, tels que les spectromètres de masse, les régulateurs de pression et les régulateurs de température, permettant un fonctionnement polyvalent. Le système peut être configuré pour fournir une intégration complète avec un réseau externe pour la télémétrie des données. La plateforme VEECO/EMCORE E450 est conçue pour augmenter le débit et améliorer les rendements. L'unité fournit des capacités automatisées de démarrage et d'arrêt, permet aux utilisateurs de surveiller les résultats de gravure en temps réel, et fournit des commentaires statistiques de contrôle des processus. La machine polyvalente dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive qui permet aux opérateurs de surveiller et de contrôler les variables de processus. De plus, les utilisateurs peuvent stocker des données pour un examen et une analyse ultérieurs. Dans l'ensemble, la plateforme VEECO E450 offre une large gamme de fonctionnalités avancées qui en font un outil idéal pour des applications de gravure précises. Le mécanisme de haute précision, la conception avancée des sources de plasma et le contrôle et la surveillance intégrés des processus font de l'outil idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, d'optoélectroniques et de systèmes optiques.