Occasion VEECO / EMCORE K465i GaN #9180276 à vendre en France
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Vendu
ID: 9180276
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2012
MOCVD System, 8"
Wiring requirement:
(5) Wires
Ground and neutral included
Main power: Top or bottom of system
UPS Input location: Top of system
Amperes interrupting capacity (A/C): 25 kA
Short circuit current rating (SCCR): 10 kA
Electrical requirements:
Voltage: 380 ± 10% VAC
Maximum current: 280 A
Frequency: 50/60Hz
Idle power: 20 kW
Nominal power: 118 kW
Peak power: 145 kW
2012 vintage.
Le réacteur VEECO/EMCORE K465i GaN (nitrure de gallium) est un réacteur spécialisé conçu pour permettre aux chercheurs de mener des expériences utilisant les propriétés uniques et bénéfiques du composé. Le réacteur K465i permet le dépôt efficace de couches de matériaux composés de nitrure III-V de haute qualité pour diverses applications de dispositifs. Il est équipé de capacités optimisées de contrôle du procédé qui permettent aux chercheurs d'augmenter leur rendement de dépôt de matière et les taux de dépôt tout en réduisant la contrainte et en permettant un meilleur contrôle du procédé. Le réacteur K465i est construit avec une configuration en deux ou trois étages, en utilisant une chambre de réaction annulaire de 30 cm de largeur sur 5 cm de hauteur. Cela lui permet de supporter un large éventail d'applications de procédés utilisant soit le plasma à couplage inductif (ICP), soit la pulvérisation magnétron à courant continu. En outre, le K465i est équipé d'un mélange révolutionnaire de systèmes de distribution de gaz efficaces et de contrôle du débit de gaz réactif, permettant un contrôle précis du processus. La conception unique du K465i offre aux chercheurs des taux de dépôt de matériaux de haute qualité et une uniformité avec une contrainte minimale. Des tailles de caractéristiques inférieures à 20 nm sont réalisables avec ce réacteur grâce à ses couches optimisées. En outre, les chercheurs ont la capacité d'affiner la recette du procédé et de maintenir la stabilité du processus grâce à son ensemble de contrôle de processus avancé exclusif. Le K465i offre également un niveau sans précédent d'automatisation des processus et de surveillance des processus. Une suite de diagnostic embarquée fournit un aperçu de l'environnement de la chambre tandis qu'un logiciel complet permet des processus reproductibles et un contrôle automatisé des processus. Ces outils peuvent être utilisés pour réduire au minimum le temps nécessaire à l'élaboration de processus complets. Le réacteur K465i est le seul réacteur commercialement disponible qui fournit l'étendue de la recherche et de l'application trouvée dans les matériaux de nitrure III-V. Avec un contrôle avancé, une surveillance automatisée et des systèmes de distribution de gaz optimisés, ce réacteur de pointe est le choix idéal pour la recherche et le développement de dispositifs innovants à semi-conducteurs en matériau nitrure.
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