Occasion VEECO / EMCORE K465i #293585758 à vendre en France
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ID: 293585758
Style Vintage: 2011
MOCVD System
MKS MFC Type
EBARA ESA25 Dry pump
Hydride line
DRT
(2) Chillers
(2) RT
(4) Baths
(7) Alkyl lines
Heater voltage: 380 V
2011 vintage.
Le réacteur VEECO/EMCORE K465i est un outil de production matéro-électronique de pointe conçu pour la production en série de dispositifs utilisés dans les secteurs des semi-conducteurs et d'autres industries. Le réacteur utilise un plasma haute tension, ce qui permet la réalisation de dispositifs implantés sur des ions. L'outil dispose d'un contrôle de zone active (AAC), qui permet à l'opérateur de contrôler les paramètres de l'implant. La conception offre également une excellente répétabilité et uniformité du remplissage. Le réacteur VEECO K465i est conçu pour fonctionner à haute tension entre (+) 75 et (-) 75 kV. Ceci permet une accélération ionique élevée qui offre une large gamme d'implantations ioniques pour différents matériaux et températures. La conception comprend également un balayage multi-axes de la plaquette permettant la production d'une grande variété de formes de surface active. De plus, l'outil utilise un système de dépôt XP-27 et une chambre d'évacuation DC-450 pour assurer une excellente propreté des plaquettes dans des conditions de vide élevé. Le réacteur EMCORE K465i est également équipé d'une source photonique améliorée (EPS) pour les éclairages ultra-violets. Cette source permet une large gamme de procédés de cristallisation environnementale pour des matériaux tels que le silicium, le GaAs et le GaN. L'outil offre également un flux ionique de crête élevé pouvant atteindre 8 000 ions/cm2, ce qui permet un débit élevé même aux plus petites tailles de fonctions submicroniques. K465i réacteur fournit également un suivi automatique des plaquettes pour faciliter un haut degré de précision du fonctionnement de l'outil. Il comprend une vaste capacité de cartographie des plaquettes qui permet d'identifier l'emplacement exact des plaquettes et choisira automatiquement les paramètres optimaux pour chaque exposition. Cela réduit le temps nécessaire à la pré-calibration et assure un rendement maximal. Le réacteur VEECO/EMCORE K465i dispose également d'une interface utilisateur intégrée avancée qui simplifie le processus de configuration et de fonctionnement et fournit des informations fiables sur les paramètres du processus, les diagnostics de l'équipement et d'autres indices de performance clés. L'outil est également livré avec un système de maintenance souple qui donne à l'opérateur une vue en temps réel de l'opération, rendant le support plus facile. Dans l'ensemble, VEECO K465i Reactor est un outil de production excellent et fiable qui convient parfaitement à la production industrielle de plaquettes à haut volume. Sa large gamme de caractéristiques en fait un choix idéal pour une production de haut volume et un résultat de qualité reproductible.
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