Occasion VEECO / EMCORE K465i #9012796 à vendre en France
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Vendu
ID: 9012796
Style Vintage: 2010
MOCVD system
GaN
Max temp 1250C degree set point
8 PSU
DRT (bow, real temp) (2) Real temp
8 x MO lines
NH3, SiH4
(2) MO concentration control
(2) Ebara process pump
Automated loading chamber
Nexus control system
H2 + NH3 gas monitor
N2+NH3 POU purifiers
(2) Johson Matthey V-480 H2 Pd cell purifiers
(2) hygrometers
(6) water cooled MO baths
Fully automated metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) system designed for the production of high-brightness light-emitting diodes
Can accommodate up to (45) 2" substrates (or 1x8") in one process
Uses FlowFlange technology designed to create a uniform alkyl and hydride flow across all wafers
Temperature uniformity by (3) separate heating zones controlled by RealTemp200 systems and additional pyrometer
Wafer curvature is monitored by dedicated deflectometer
Fully robotized carrier handling tool allows for continuous operation
All manuals and schematics for reactor from original Veeco purchase
(3) brand-new wafer carriers/susceptors
K465i growth chamber and Uniform Flow Flange assembly
Rotary Robot Arm Transfer assembly (robot, end effector, robot chamber, buffer chamber, gate valves, controller, etc.)
Laminar flowhood wafer loading platform
Complete gas panel (NH3/N2/H2, MO source lines, SiH4 source line), injector block
Ferrofludic turbodisc rotation assembly
Turbodisc controller
(2 sets) Veeco K465 heater assembly and filaments (1 installed in chamber, 1 full set as a spare)
(2) Ebara ESA-25D process pumps
Load lock pump
(2) high-capacity particle filter assemblies.
(2) particle filter elements
Reactor pressure throttle valve
(8) DC power supplies for filaments
Eurotherm controllers
Reactor control CPU, Servo CPU, (2) PC monitors, keyboard and mouse
(2) RealTemp 200 Modeling System with dedicated CPU
(1) DRT-210 Real-Time Monitoring System with spare CPU
(4) Lauda Model 215 bubbler baths
(2) Lauda Model 235 bubbler baths
(2) Lytron Heat Exchangers for reactor
Growth chamber baratron gauge
(2) – Piezocons
Flow Flange Lift Cart
H2 Pd purifier cabinet model: HP 200/400 V-Purge
NH3 Purifier - Aeronex 10M
N2 Purifier - Aeronex 10M
Hygrometer Assy 2-channel Panametrics
CM4 Gas monitor
Spare Baratron (pressure manometer) and MFC
(3) spare Eurotherm controllers
(2 cases, 1 partial) MassVac filter elements
2010 vintage.
Le réacteur technologique VEECO/EMCORE K465i à faisceau électronique à courant moyen (EB) est un équipement de pointe utilisé dans les industries des semi-conducteurs et de l'affichage pour la fabrication de couches minces. Il utilise un mélange de technologie de photolithographie, de lithographie par faisceau électronique (EB) et de techniques d'évaporation. Ce réacteur est équipé d'une source d'électrons, d'une source d'énergie de faisceau, d'une source d'évaporation et d'un étage lithographique sans masque. VEECO K465i est conçu pour traiter des processus à haut courant allant jusqu'à 600 mA. Cette technologie haut de gamme permet aux ingénieurs d'obtenir une uniformité dans la fabrication et la croissance de couches minces sur plusieurs substrats en une seule étape de production. Il est également capable de traiter des matériaux multiples, tels que des matériaux de dépôt d'électrons, des films métalliques et polycristallins. EMCORE K465i est équipé d'une technologie de filtrage à courant continu (DC) qui protège contre l'arc, ce qui améliore la cohérence du processus. La source d'électrons en K465i est un émetteur d'électrons à canon, alimenté par une alimentation programmable en tension constante. Ceci garantit une puissance cohérente sans ondulation de sortie. Le réacteur technologique VEECO/EMCORE K465i EB offre également une construction étanche au vide, incluant des portes pour éviter la contamination des composants intérieurs. De plus, le réacteur dispose d'un système automatisé de chargement et de déchargement, avec un plateau préchargé avec des plaquettes pour un fonctionnement efficace. Le réacteur technologique VEECO K465i EB dispose également d'un régulateur de température intégré qui assure une température de traitement uniforme. Ceci empêche toute dégradation des résultats du traitement, ainsi que le ruissellement thermique de se produire. Il offre également une machine de commande fiable et une interface utilisateur intuitive qui permet un réglage rapide et facile des paramètres. En conclusion, le réacteur technologique EMCORE K465i à faisceau électronique à courant moyen (EB) est un outil avancé et fiable pour la fabrication de couches minces. Il offre une technologie de filtration sophistiquée, une source d'électrons très fiable, et un atout de contrôle de la température, ce qui en fait le réacteur technologique moyen courant idéal pour produire des circuits à couches minces et d'autres matériaux.
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