Occasion VEECO / EMCORE K465i #9043781 à vendre en France
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Vendu
ID: 9043781
MOCVD-GaN system, 6"
K465i GaN MOCVD Reactor
K465i Heater Assembly
Wafer Handling Assembly
Laminar Flow Hood
Ebara ESA-25D Pumps
User Interface Swing Arm
Rotary Transfer Assembly
Electronics Control Module
Circuit Breaker Panel 380 VAC
Supply Gas Sub-Assembly
GaN Standard 2xN2, 1xH2 regulator, 2 N2/H2 outputs
All bubblers as quoted
All Slices as quoted
Liquid Refigerator Baths
In-Situ Monitoring System
DRT 210 Real time In-Siture monitor systems
Integrated Electronics Assembly
Model Based Temperature Control
Flow Flange Lift Kit
SECS/GEM
Spare Wafer Carriers 5x6 Qty. 2
MV Particle Filter Maintenance Kit
Filament Maintenance Kit Gen IV Out
Filter Cart Assembly MV KF40
Pyro Kit
Systems utilize shared scrubber, scrubber not included
CE Mark
Tool is currently powered down and main lines are disconnected
2012 vintage.
VEECO/EMCORE K465i est un outil à haute performance d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) conçu pour la recherche, le développement et la production de semi-conducteurs composés. Ce réacteur offre une large gamme de capacités de croissance, y compris AlGaAs, InGaAs et InP, pour des applications telles que les IC optoélectroniques à grande vitesse, les dispositifs de communication de données, les capteurs et les dispositifs LED. VEECO K465i est l'offre la plus récente de VEECO dans leur gamme de réacteurs MBE, et c'est un excellent choix pour ceux qui recherchent un outil MBE avancé et de haute précision. EMCORE K465i est équipé d'un équipement de contrôle de l'atmosphère multi-zones de grande capacité qui peut précisément modifier la température et la composition du gaz pour offrir un environnement uniforme sur l'ensemble de la plaquette. Ce système fournit un environnement optimal pour les substrats pendant la sublimation et la croissance subséquente, et aide également à minimiser la formation de défauts. K465i dispose également d'un étage d'échantillonnage de 4 points pour un mouvement précis du substrat. En outre, un choix de systèmes sources est disponible, y compris les cellules Knudsen, les faisceaux électroniques et les cellules d'effusion. VEECO/EMCORE K465i fournit une pression de base de 5 mTorr, tandis que les systèmes peuvent être équipés de pompes turbomoléculaires pour des pressions encore plus faibles, comme 1 mTorr et 0,1 mTorr. Cette faible pression de base contribue à réduire la probabilité de contamination pendant la croissance. VEECO K465i comprend également des commandes d'échantillons sous vide et d'obturateurs pour une meilleure répétabilité des processus. L'unité est équipée d'un logiciel spécialisé pour un contrôle facile et intuitif, et le logiciel fournit une interface utilisateur graphique pour l'exploitation de la machine MBE. EMCORE K465i fournit un outil avancé et hautement modulaire qui le rend idéal pour les applications nécessitant un contrôle précis des propriétés de croissance. Ce réacteur peut également être équipé d'une gamme complète d'accessoires pour diverses applications. Cela comprend des systèmes de cryo-douche pour une croissance ultra propre, des systèmes de surveillance des dépôts et des serrures pour l'entretien de l'état hautement reproductible. K465i est un outil MBE très polyvalent qui est parfait pour la production et la recherche.
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