Occasion VEECO / EMCORE K465i #9045105 à vendre en France

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Fabricant
VEECO / EMCORE
Modèle
K465i
ID: 9045105
Style Vintage: 2010
GaN MOCVD system Includes: Insitu: (1) DRT + (2) RT (6) Bubbler slice (TMAI, TEGa, TMGa Cp2Mg, TMIn#1,TMIn#2) (5) Source bath (Model E212) (2) Piezocon control (TMIn#1,TMIn#2) In-line purifier: N2, NH3 Gas purification: H2 Software: Nexus v3.05.02 Flowflange maintenance jig: Excluded fork lift 2010 vintage.
VEECO/EMCORE K465i incarne l'avancée moderne des équipements de traitement plasma à haut rendement. Ce réacteur industriel sophistiqué combine des performances exceptionnelles et les caractéristiques de deux leaders du marché, VEECO et EMCORE, pour créer un équipement complet et entièrement intégré pour augmenter considérablement le débit de processus pour une variété d'applications électroniques et de matériaux. VEECO K465i est conçu pour fournir une puissance de traitement robuste et fiable, avec sa capacité à exécuter une gamme exhaustive de processus de gravure (sans, diélectrique, métal passivé) et de dépôt (CVD) à des débits élevés. Sa conception robuste et ouverte permet une flexibilité maximale pour tout développement et contrôle de processus personnalisés, assurant une courbe d'apprentissage raide et minimisant le temps sur le marché. EMCORE K465i dispose d'un design breveté révolutionnaire, avec deux chambres de traitement uniques. Ces chambres abritent plusieurs bobines de source électromagnétique qui peuvent fournir jusqu'à 512 ampères et un guide d'onde RF offrant jusqu'à 500W de puissance. La flexibilité de traitement polyvalente offerte par cette configuration puissante des sources rend ce réacteur capable de traiter des tailles de substrat jusqu'à 300mm avec une excellente uniformité à des cadences bien au-delà des réacteurs à tubes classiques. La chambre thermoélectrique refroidie évite les réactions indésirables entre plaquettes de substrat lors de la gravure, permettant des rendements et débits de substrat plus élevés. De plus, le système de contrôle des processus en boucle fermée offre un contrôle et une surveillance complets des processus en temps réel, assurant ainsi une personnalisation complète du produit final. Cette unité de surveillance en boucle fermée prévient les dérives accidentelles dues à des erreurs humaines ou à des caractéristiques matérielles inattendues. K465i dispose également de diagnostics avancés et de protection des machines. Les techniques avancées de détection diagnostique permettent aux utilisateurs de voir, dans les limites des spécifications, ce que le processus fait réellement. Cela est particulièrement utile pour réduire les temps d'arrêt et soutenir le confinement des coûts de production et l'optimisation des rendements. De plus, les systèmes de sécurité innovants de l'outil garantissent un fonctionnement sûr et fiable même lorsqu'il fonctionne à haute densité de puissance. VEECO/EMCORE K465i est un excellent exemple de technologie de réacteur de pointe, car il fournit le meilleur rapport coût-efficacité pour un large éventail d'applications de traitement industriel. L'empreinte compacte, le degré élevé de flexibilité et la sécurité des actifs en font l'un des meilleurs choix pour les besoins de traitement du plasma.
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