Occasion VEECO / EMCORE K465i #9172349 à vendre en France

VEECO/EMCORE K465i est un type de réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour la réalisation de divers procédés à couches minces. Ce type particulier de réacteur est basé sur la conception de la paroi froide, et est principalement utilisé dans les industries liées à l'optoélectronique/photonique. VEECO K465i conçu a une large gamme de capacités pour le dépôt de matériaux organiques et inorganiques sur divers substrats, tels que le CMOS, le verre, le SiC et le GaAs. La taille du substrat supporté par le réacteur est jusqu'à 8 pouces. Il est composé de divers composants, dont un corps, une chambre de processus, un suscepteur, un système de distribution de gaz, et une foule d'alimentations et de contrôleurs. Le corps en aluminium d'EMCORE K465i fournit un support mécanique, tandis que la chambre de procédé est utilisée pour contenir et évacuer les réactifs et les produits de réaction. Un suscepteur réglable est fixé au sommet de la chambre de réaction afin de maintenir solidement les substrats anthe et de les chauffer quelque peu pendant le processus de dépôt. Le système de distribution de gaz comprend un régulateur de débit massique (MFC) et un débitmètre, qui permettent de mesurer et de contrôler avec précision les gaz précurseurs et autres gaz réactifs. Un groupe d'alimentations régulent le flux de courant à travers les éléments chauffants du réacteur tandis que les contrôleurs sont chargés de fournir la température désirée. Enfin, la chambre de K465i est également équipée de nombreux systèmes de surveillance tels qu'un spectromètre de masse quadrapolaire (QMS) pour déterminer la composition du gaz de chambre et un réflectomètre pour contrôler l'épaisseur des films. Dans l'ensemble, le réacteur VEECO/EMCORE K465i offre un moyen abordable et fiable de réaliser des processus de dépôt CVD pour l'industrie de l'optoélectronique/photonique. Avec son large éventail de capacités et de composants réglables, VEECO K465i convient à une grande variété de procédés complexes en couches minces.