Occasion VEECO / EMCORE K465i #9227000 à vendre en France

VEECO/EMCORE K465i est un réacteur de gravure haute performance conçu pour une utilisation dans divers domaines. C'est un dispositif plasma basse pression qui utilise une combinaison de chimie des gaz et un bombardement électronique intensif. Ce réacteur est un dispositif à cathode creuse qui offre un profil de gravure répétable et uniforme avec des performances supérieures. VEECO K465i est un réacteur de gravure multi-plaquettes capable de traiter jusqu'à quatre plaquettes de 3 pouces simultanément. Il dispose d'un module de verrouillage de charge et d'une cassette pour le chargement et le déchargement des plaquettes, avec un lecteur automatisé et un détecteur de point d'extrémité interfacé. Le réacteur est équipé de la construction de canons à électrons à émission de champ, et peut fournir un blindage électrostatique au niveau d'une plaquette. Le contrôle du débit de gaz et l'uniformité de gravure peuvent être réglés et réglés par l'utilisateur. Il est également capable d'effectuer une gravure par lots des ions réactifs profonds (DRIE). Ce DRIE crée un angle de flanc en pente négative avec une vitesse de gravure uniforme dans le rapport d'aspect sur une gamme de conditions de pression et de puissance. EMCORE K465i utilise un système de contrôle multi-gaz avancé pour réduire le temps nécessaire à la qualification des procédés et réduire les coûts d'entretien. En plus du contrôle multi-gaz, plusieurs recettes peuvent être stockées et utilisées pour différentes applications. Il dispose également d'une zone sans produit chimique et utilise une méthode d'obturation en ligne pour contrôler la contre-pression des gaz d'échappement. Ce dispositif polyvalent est doté d'une surveillance active des émissions, ce qui assure la sécurité et l'efficacité du système. Sa plate-forme basse pression utilise une barrière de gravure et un contrôle complet de la hauteur du substrat pour créer une gravure uniforme et des horaires minimums et des temps d'arrêt. K465i est le choix idéal pour les utilisateurs à la recherche d'une solution de gravure fiable et rentable. Sa combinaison de haute performance et de facilité d'utilisation en font un choix idéal pour une variété d'applications.