Occasion VEECO / EMCORE K465i #9229288 à vendre en France

VEECO/EMCORE K465i est un réacteur métallique à dépôt chimique en phase vapeur (MOCVD) conçu pour l'épitaxie en phase liquide (LPE) et le dépôt à base d'oxyde/nitrure. VEECO K465i est un outil à haut débit idéal pour les applications industrielles multicouches telles que les LED, l'optique intégrée et les transistors à couches minces (TFT). Il dispose d'un équipement de distribution de gaz sur mesure avec des précurseurs de gaz contrôlés individuellement et des zones de réaction dynamique pour une uniformité maximale du dépôt des films, ainsi que d'un logiciel automatisé de contrôle des processus pour optimiser le débit et le rendement. EMCORE K465i est un réacteur MOCVD vertical à tube divisé avec un tube réacteur de quatre pouces par deux pouces. Il utilise le flux de gaz horizontal et vertical pour une multi-croissance uniforme dans l'ensemble de la plaquette. Le chauffage du substrat peut atteindre 700 ° C et la température peut être maintenue uniformément via un système de chauffage direct et des capteurs de température incorporés. Sa turbomachine à trois étages est capable de fournir un niveau élevé de vide pour la condensation des espèces actives et le débit de gaz réactif efficace. K465i est en outre complété par une unité de transfert automatique des plaquettes de haute précision, une machine d'équilibrage de pression automatisée pour contrôler la pression et le débit du réacteur, un mécanisme de levage personnalisé, ainsi qu'un séquençage automatisé des gaz pour un contrôle précis des dépôts. Il est équipé de composants matériels de haut débit et de haute qualité tels que les cristaux Prism, la surveillance in situ, le masquage automatique de l'ombre et un outil de spectroscopie. VEECO/EMCORE K465i comprend également un épurateur d'échappement pour réduire les contaminants gazeux dans l'environnement. VEECO K465i a été conçu pour fournir un outil robuste, reproductible et fiable pour produire un volume élevé de couches homogènes avec précision et efficacité. Ses capacités avancées en font un choix idéal pour les clients à la recherche d'un actif MOCVD rentable et polyvalent.