Occasion VEECO / EMCORE K465i #9233939 à vendre en France

VEECO/EMCORE K465i est un outil d'implantation ionique conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. C'est un réacteur polyvalent à haut débit qui utilise des ions de divers éléments pour modifier les propriétés physiques et électriques d'un substrat. Le réacteur utilise une large gamme d'énergie de 0,5 à 750 KeV, avec des taux d'implantation aussi élevés que 1.25e12 at/cm2/min. Ceci permet de contrôler avec précision la dose et la profondeur de l'implant dans le substrat, ainsi que le type d'éléments implantés. Le réacteur est composé d'une chambre à vide, d'une source d'ions, d'obturateurs et de systèmes de détection. La chambre à vide contient un vide de 1x10-8 Torr, permettant l'implantation d'ions dans le substrat. La source d'ions contient des éléments tels que Ar, Cs, Xe et N à différentes énergies pour permettre l'implantation correcte des ions. Les obturateurs contrôlent le faisceau d'ions pour assurer un balayage précis et une implantation précise. Les systèmes de détection surveillent le diagramme pour obtenir un balayage précis et permettre une mesure précise de la zone à implanter. VEECO K465i est un contrôleur informatique analogique de type logique floue qui aide à maintenir le bon fonctionnement de l'outil. Le contrôleur est également utilisé pour affiner la puissance du faisceau et le profil de courant pour atteindre le dosage désiré. Le contrôleur surveille également l'ensemble du système et ajuste automatiquement l'accélération ionique. L'outil dispose d'une carte de plaquettes multi-canaux qui permet une variété d'implantations asynchrones et d'implantations séquentielles. Il est équipé d'un système d'optique ionique haute résolution qui permet la mise en œuvre de stratégies de balayage avancées, telles que le balayage en ligne fine, le 2D-overlays et les implantations offset. Ce système permet également une implantation uniforme sur l'ensemble de la plaquette. L'outil est conçu pour des temps de retournement rapides et un entretien facile. Des dispositifs de sécurité tels qu'un couvercle de chambre obturable, un bouton d'urgence et une serrure de convoyeur à courroie sont inclus pour un fonctionnement sûr. L'outil est construit avec la maintenance en tête, avec un accès facile à plusieurs composants et un échange facile de pièces. L'outil comprend également la maintenance en ligne et la documentation des implants pour assurer le bon fonctionnement. EMCORE K465i est un réacteur avancé à haut débit adapté à la production de semi-conducteurs. Avec ses énergies de faisceau réglables, son optique ionique haute résolution et son mapper multifonctionnel, K465i est capable de contrôler avec précision la dose et la profondeur de l'implant pour différentes applications. L'outil dispose également de fonctions d'entretien et de sécurité faciles pour un fonctionnement fiable.