Occasion VEECO / EMCORE K465i #9241368 à vendre en France

VEECO/EMCORE K465i est un outil d'analyse par plasma à couplage inductif avancé pour la recherche et l'analyse des propriétés des matériaux semi-conducteurs. Ce réacteur de laboratoire est conçu pour des applications de recherche et peut être utilisé pour mesurer, analyser et expérimenter avec une grande variété de matériaux semi-conducteurs. VEECO K465i est un réacteur à forte puissance de crête à haute pression couplée inductivement à base de plasma qui est optimisé pour être utilisé dans le traitement au niveau des électrodes pour des expériences de gravure profonde, gravure, dépôt et recuit. Il utilise une géométrie unique d'antenne conductrice circulaire pour améliorer l'efficacité de couplage plasma et le transfert de puissance dans la chambre vers le substrat. EMCORE K465i dispose d'une structure double pression innovante et de deux zones de pression entretenues indépendamment pour une excellente répétabilité des processus et des performances robustes des équipements. Il est capable de générer des plasmas haute densité d'énergie pour l'optimisation des sources haute densité et les applications de contrôle des habitudes de dimension critique. Ces plasmas peuvent être surveillés en continu avec un spectromètre d'interférence d'ablation laser en temps réel pour un contrôle précis de la chimie et de la composition du plasma. En outre, K465i est conçu pour une production à haut débit et contient une grande surface, électrode à plaques parallèles pour une distribution efficace des processus de matériaux et l'uniformité. VEECO/EMCORE K465i contient une gamme de fonctionnalités et de capacités puissantes pour répondre à des demandes de recherche rigoureuses. Ces caractéristiques comprennent des systèmes d'humidification et d'évacuation de pression réglables pour un contrôle précis et répétable des processus, un générateur LFM (Linear Frequency Modulation) linéaire pour une synchronisation des processus de précision avancée, et une gamme complète de capacités de métrologie. Le réacteur contient une chambre équilibrée en température afin d'assurer la cohérence des températures du substrat et du procédé pour une performance optimale. Enfin, VEECO K465i comprend un système d'automatisation complet pour une installation et un contrôle d'expériences rapides et efficaces. Il est équipé d'une unité robotisée de manipulation des échantillons qui peut manipuler à la fois des plaquettes circulaires de 1,27 cm de diamètre et des substrats jusqu'à x cm ² pour les appareils de plus grande taille. En outre, une machine d'automatisation exclusive basée sur Windows permet une acquisition et un contrôle faciles des données tandis qu'un outil optique intégré fournit une imagerie et une analyse détaillées pour la caractérisation expérimentale. Dans l'ensemble, EMCORE K465i est un outil d'analyse puissant et avancé à base de plasma avec une large gamme de fonctionnalités et de capacités. C'est l'outil parfait pour les chercheurs et les techniciens qui ont besoin de procédés avancés et reproductibles pour la recherche et l'analyse de dispositifs semi-conducteurs.