Occasion VEECO / EMCORE K465i #9274047 à vendre en France
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ID: 9274047
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2010
MOCVD Reactor, 6"
Upgraded from K465
Process: GaN
LED Application
(2) SiH4 Gases
NH3, H2, N2, TMGa, TEGa, Cp2Mg, TMAl, SiH4, TMIn
Control PC:
No hard drive
No operating system
In situ monitoring:
RealTemp200
No harddrive
No operating system
Wafercarrier robot handling
Standard integrated VEECO VAC-Glovebo
ESA25D Vacuum Pump
ACP28 DOR Pump
ACP28 Glovebox pump
Water cooled up to 6 pcs
Up to 2 pcs for TMI
Standard veeco reactor
Flow flange generation
MO Dopant lines
No HDD
No scrubber
No exhaust heater
2010 vintage.
VEECO/EMCORE K465i est un réacteur utilisé pour créer des semi-conducteurs à couches minces. Il a été développé par VEECO Instruments et EMCORE Corporation en tant qu'outil de nouvelle génération pour la fabrication de microélectroniques et d'optoélectroniques. VEECO K465i est un réacteur à chambre unique, en version hybride, qui utilise la puissance de plasma à couplage inductif (ICP) et de radiofréquence (RF) pour déposer des couches minces sur divers substrats. C'est un outil très polyvalent, capable de déposer une grande variété de types de matériaux, des composés à base de silicium aux composés isolants métalliques exotiques. EMCORE K465i est un système entièrement automatisé qui peut être facilement programmé pour tenir compte de différentes combinaisons de tailles de substrat, de températures de processus, de régimes de pression, de mélanges de gaz et de puissance RF et ICP. Le système permet également de surveiller in situ les paramètres du processus tels que la pression, la température, la RF, la puissance du PIC et le débit de gaz. K465i réacteur combine un certain nombre de composants différents, y compris une chambre de procédé et une boîte à gaz. La chambre de procédé contient un suscepteur, qui sert à supporter le substrat pendant le processus de dépôt, ainsi qu'une bobine RF et les gaz de procédé. La boîte à gaz contient une unité d'alimentation en gaz et divers régulateurs de vannes et de vannes. La configuration modulaire de VEECO/EMCORE K465i permet de l'adapter à différents processus de production, des produits de haute valeur et de faible volume comme les appareils optoélectroniques à l'électronique de haut volume et de faible coût. Parmi les autres avantages de VEECO K465i, mentionnons sa vaste gamme d'options d'intégration de processus, le passage rapide et facile à l'outil, le contrôle et la stabilité accrus des processus et l'amélioration des rendements de production. Dans l'ensemble, EMCORE K465i est un outil innovant et puissant pour la production de semi-conducteurs à couches minces. Il est robuste, fiable et facile à utiliser, et sa configuration polyvalente et ses capacités avancées de contrôle des processus en font un excellent choix pour une grande variété de besoins de production.
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