Occasion VEECO / EMCORE K465i #9363426 à vendre en France

VEECO / EMCORE K465i
Fabricant
VEECO / EMCORE
Modèle
K465i
ID: 9363426
MOCVD System.
VEECO/EMCORE K465i est un équipement réactif de gravure ionique par radiofréquence (RF) conçu pour la micro-fabrication de précision de dispositifs électroniques avancés. Ce système utilise une combinaison de sources d'énergie RF, d'une source de plasma haute densité, d'une gamme de gaz de gravure et de matériel et de logiciels de précision contrôlés par ordinateur pour fournir des performances de gravure haute précision et haute résolution sur divers matériaux tels que le verre, le silicium, le saphir et d'autres polymères. VEECO K465i est basé sur un processus de plasma micro-ondes hybride, amélioré magnétiquement, qui fournit une gravure de haute qualité avec une faible érosion PMMA et une micro-charge minimisée. Il est équipé d'une source de plasma avancée qui utilise un mécanisme de conversion de polarité contrôlée pour créer un plasma robuste et haute densité à la fois à la source de plasma et à la chambre de substrat. La source a été conçue pour offrir une grande homogénéité et une grande sélectivité chimique, permettant des profils de gravure optimaux. EMCORE K465i a un taux de répétabilité élevé, ce qui signifie que plusieurs processus de gravure peuvent être exécutés sur la même pièce pour obtenir des résultats uniformes. Il a également la capacité de graver de grandes zones avec de faibles variations dans la zone de gravure. Les contrôles environnementaux de l'unité permettent des niveaux de pression et de température précis, tandis qu'une machine de gestion de gaz robuste supporte le mélange automatique de gaz pour obtenir la meilleure chimie de gravure. K465i est équipé d'un matériel informatique de pointe et d'un outil logiciel qui fournissent des résultats de gravure reproductibles et de haute précision. L'actif est également équipé d'une gamme de sources d'énergie RF, permettant à l'utilisateur de graver avec différents gaz de gravure et de définir les paramètres de gravure spécifiques. Le modèle offre également une large gamme de matériaux de substrat, des métaux standards aux matériaux exotiques, de sorte que pratiquement n'importe quelle application peut être abordée. Le matériel de gravure ionique réactive VEECO/EMCORE K465i RF est conçu avec souplesse et précision. Ses systèmes matériels et logiciels avancés sont conçus pour permettre à l'utilisateur d'obtenir des résultats de gravure de haute précision et haute résolution sur une variété de matériaux. Son système de gestion du gaz robuste et ses contrôles environnementaux garantissent une chimie de gravure optimale. La gamme de sources d'énergie RF de l'unité, ainsi que sa capacité à graver de grandes surfaces et de faibles variations entre les zones de gravure, garantissent que cette machine est idéale pour toute application de micro-fabrication.
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