Occasion VEECO / EMCORE K465i #9402610 à vendre en France

Le réacteur double tige VEECO/EMCORE K465i est un système de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de pointe. Ce système comporte deux zones : la zone substrat et la zone source. La zone de substrat contient le loadlock, qui peut traiter deux substrats simultanément et peut contenir jusqu'à six substrats de taille jusqu'à 200mm. La zone source contient l'alimentation en gaz porteur et introduit les gaz réactifs dans les substrats pour la décomposition des matériaux pour former le film ou la couche désirée. Ce réacteur peut traiter des matériaux avec une grande variété de paramètres de dépôt, des processus de faible à forte vitesse de dépôt. Il offre une homogénéité et une flexibilité de dépôt exceptionnelles grâce à son chauffage à 360 degrés au niveau du substrat. Le substrat est géré indépendamment de la source par un traceur de position prédéterminé ou programmable. Cela permet un balisage de haute précision. VEECO K465i utilise des lignes chauffantes horizontales et verticales pour une excellente uniformité et un contrôle de la température. Le système permet des contrôles de processus avancés tels que le débit de gaz, la pression, la commande de puissance RF et de polarisation, ainsi que des caractéristiques de sécurité avancées. EMCORE K465i dispose également d'un microbalance breveté à cristaux de quartz (QCM) qui peut fournir une analyse de composition chimique in situ précise. K465i est conçu pour traiter une grande variété de matériaux avancés, y compris des matériaux à haute température et des oxydes, tels que l'oxyde de zinc dopé à l'aluminium (AZO), le silicium amorphe (a-Si) et le sélénure de cadmium (CdSe). Il est conçu pour des applications dans le développement et la production de transistors à couches minces, de cellules solaires et de photodétecteurs. VEECO/EMCORE K465i est un réacteur de nouvelle génération qui offre des performances, une flexibilité et un contrôle sans précédent dans un boîtier compact et fiable. Il est fiable et facile à utiliser, avec des commandes tactiles intuitives et un logiciel convivial pour une configuration et un fonctionnement simples. Il comprend également une gamme complète d'outils de laboratoire pour améliorer la surveillance des processus et le contrôle des outils sur mesure.