Occasion VEECO / EMCORE K465i #9411980 à vendre en France

Fabricant
VEECO / EMCORE
Modèle
K465i
ID: 9411980
MOCVD Systems.
Le réacteur VEECO/EMCORE K465i est un outil puissant et efficace pour de nombreux processus de recherche et de fabrication en sciences des matériaux, en nanotechnologie et dans d'autres domaines. Il s'agit d'un système de gravure plasma de pointe, conçu pour assurer un contrôle précis et répétable de paramètres tels que la vitesse de gravure, l'anisotropie, les sélectivités et le contrôle du point final. Un réacteur compact, de type vertical, VEECO K465i est idéal pour de nombreuses applications commerciales et de laboratoire, car il offre une configuration flexible avec jusqu'à trois modules de traitement et de source, un blocage de charge et des capacités de turbo-pompage et de surveillance du vide. EMCORE K465i est un système réactif de gravure ionique (RIE) et des réactions primaires telles que le plasma Ar, le plasma SF6, l'oxygène-plasma, et d'autres qu'ils peuvent être déployés pour graver une variété de matériaux. L'unité offre un excellent contrôle du processus, de la conception de la recette, du choix du matériau source et du démarrage de la pompe principale. Une interface utilisateur graphique, un écran de panneau et un contrôleur logique programmable fournissent une interface de contrôle complète pour les aspects chimie-contrôle de la gravure. Les composants de K465i comprennent un mandrin électrostatique, des boucliers de retenue et une source intégrée de faisceau d'ions. Les composants internes sont conçus pour supporter des processus de gravure de < 20KV, avec une vitesse de gravure maximale de 32nm/min, et des fonctionnalités qui permettent une gravure haute résolution. Les boucliers électrostatiques permettent d'assurer la répétabilité et la précision du processus et de réduire les temps de chargement et le mouvement des composants. VEECO/EMCORE K465i fournit un large éventail de services de dépôt de matières, y compris le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et l'évaporation. Ces services peuvent être utilisés pour déposer un large éventail de matériaux, notamment des métaux, des alliages, des diélectriques et des semi-conducteurs. Les procédés offrent également un excellent contrôle de l'anisotropie de gravure, du contrôle des caractéristiques et de la précision. En plus des capacités de gravure et de dépôt, VEECO K465i offre un certain nombre d'options pour optimiser le processus, y compris une serrure de charge, une source d'ions dédiée et des capacités de photo-ionisation. Le verrouillage de charge permet une charge d'échantillon répétable et contrôlée, tandis que la source d'ions dédiée fournit des taux de gravure plus élevés et une répétabilité améliorée. Les capacités de photo-ionisation sont conçues pour améliorer la résolution du processus et améliorer la compatibilité des échantillons. Dans l'ensemble, EMCORE K465i est un excellent choix pour un large éventail d'applications de recherche, de fabrication et d'industrie. Sa configuration flexible et son large éventail de capacités en font une machine très polyvalente, avec le potentiel de transformer la façon dont les matériaux sont conçus et utilisés. Combiné à ses excellentes fonctionnalités, capacités de contrôle et répétabilité, K465i est un outil puissant pour tous ceux qui cherchent à augmenter l'efficacité et la précision de leurs processus.
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