Occasion VEECO / EMCORE TurboDisc E450 LDM #9119474 à vendre en France

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ID: 9119474
Style Vintage: 2009
MOCVD System, 13x4" ( 5x6") MO Source line: TMGa-1, TMGa-2, TMIn-1, TMIn-2, TMAl-1, TMAl-2, Cp2Mg, DEZn Hydride source line: (1) AsH3, (1) PH3, (2) Dopant A Si2H6, (1) Dopant B spare Veeco real temp pyrometers Ebara A70 multi-stage vacuum pump (5) RE215 Thermal baths (1) RE221 Thermal bath Currently installed 2009 vintage.
Le réacteur VEECO TurboDisc E450 Low-Density Metal (LDM) est un outil commercial utilisé pour vaporiser physiquement les métaux destinés aux dispositifs et structures semi-conducteurs. Ce réacteur à haute performance fonctionne dans un environnement à vide élevé et utilise l'énergie des micro-ondes pour le chauffage, le dépôt en phase vapeur et l'oxydation. Le procédé commence par charger une « charge » de métaux nécessaires dans le suscepteur de plaquettes de quartz du réacteur, qui est alors capable d'atteindre des températures très élevées de manière précise et cohérente. Le réacteur E450 LDM est capable de déposer jusqu'à 5nm/s en fonctionnement dynamique et utilise soit le chauffage par radiofréquence (RF), soit le chauffage par courant continu (DC) pour atteindre ces hautes températures. De plus, les paramètres de dépôt constants de la conception TurboDisc permettent aux utilisateurs de répéter le même processus de dépôt pour créer des structures identiques en termes d'uniformité. La technique avancée de nettoyage in situ incluse dans l'équipement du réacteur E450 LDM joue un rôle essentiel dans le nettoyage du suscepteur de plaquettes de quartz et d'autres composants du système afin d'éviter tout type de contamination. Cette technique de nettoyage in situ utilise une source de gaz de chlore et de gaz d'azote dans un procédé qui assure le dépôt de matériaux de la plus haute qualité dans les couches désirées. Le réacteur E450 LDM offre également la commodité d'une isolation électrique efficace. Cela signifie que le réacteur peut fonctionner de manière stable indépendamment de tout changement qui se produit dans l'environnement extérieur, assurant les résultats de la plus haute qualité sont systématiquement atteints. En plus, le réacteur d'E450 LDM n'exige pas l'entretien fréquent et l'entretien, en signifiant que les utilisateurs peuvent faire marcher le réacteur pour les périodes prolongées sans courir le risque de la décomposition d'unité. La machine comprend également un outil de refroidissement pour assurer un fonctionnement optimal de l'ensemble de l'actif en tout temps. Le réacteur EMCORE TurboDisc E450 Low-Density Metal (LDM) est un outil facile à utiliser et performant qui convient à un large éventail d'applications nécessitant la vaporisation des métaux. Sa méthode avancée de nettoyage in situ, ses taux de dépôt élevés et son isolation électrique en font un choix idéal pour ceux qui recherchent un modèle de dépôt cohérent et fiable.
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