Occasion VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375085 à vendre en France

Le réacteur VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN est un réacteur de production ultra-performant capable de produire des films de nitrure métallique. Construit sur la technologie brevetée VEECO TurboDisc, le K465i est un système de dépôt à chambre de réaction verticale monobloc conçu pour produire des films avec uniformité et précision impossible à réaliser avec d'autres méthodes de dépôt. Avec ses arbres perpendiculaires supérieur et inférieur, le K465i peut traiter plusieurs plaquettes simultanément, tandis que ses contrôles de dépôt avancés et la conception de la chambre fournissent des performances améliorées dans les environnements de production. Le TurboDisc K465i utilise une source de plasma à haute densité de résonance cyclotron électronique (ECR) à deux étages ainsi qu'un nouveau système de polarisation RF pour augmenter la vitesse de dépôt. La haute densité ECR assure un niveau d'ionisation plus élevé et une production de radicaux efficace, permettant une meilleure couverture de surface. Le système de polarisation RF augmente encore les niveaux d'ionisation des espèces énergétiques présentes dans le plasma. Ces caractéristiques combinées sont ce qui donne au K465i sa vitesse de dépôt remarquable allant jusqu'à 250 Å/min. Le K465i est idéal pour le dépôt de films de GaN, d'oxyde de gallium (Ga2O3) et d'oxyde de gallium dopé à l'azote (GaN : O). Il a une pression de la chambre de base de 2 × 10-9 Torr, et les étapes avancées du processus peuvent atteindre des pressions inférieures à environ 1 × 10-8 Torr. La chambre de serrure peut traiter jusqu'à 6 ″ plaquettes et peut fournir jusqu'à 350 mm de manutention de substrat. Le réacteur offre également une gamme complète d'options de contrôle, telles que quatre lampes à quartz pour l'éclairage des substrats, des plaques de décalage pour la compensation des effets géométriques et des entrées de gaz pour le contrôle des espèces réactives. Cela garantit une surveillance des processus en temps réel et des cycles de dépôt précis. De plus, son interface tactile conviviale permet une ingénierie de réaction simple. Le TurboDisc K465i est un choix technologiquement avancé et fiable pour la production de films de nitrure de métal de haute qualité. Avec ses caractéristiques uniques et son design innovant, il est le choix idéal pour les applications telles que les LED, les capteurs, la mémoire et les semi-conducteurs de puissance.